孙洪文
- 作品数：21 被引量：44H指数：4
- 供职机构：河海大学物联网工程学院更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层
- 摩擦和粘附问题已经成为影响微机电系统(MEMS)工艺性能和可靠性的主要因素.本文针对MEMS/NEMS中微构件表面改性问题,采用反应离子刻蚀(RIE)在硅片表面沉积氟化物薄膜,以达到降低硅片的表面能,减少其摩擦和粘附的目...
- 顾盼刘景全陈迪孙洪文
- 关键词：反应离子刻蚀表面能微机电系统
- 文献传递
- 基于旋涂和键合实现微纳米图案转移的方法
- 一种基于旋涂和键合实现微纳米图案转移的方法，用于纳米技术领域。本发明首先加工母板及对母板表面进行处理，然后采用旋涂的方法在母板表面旋涂聚合物预聚体并固化，接着在固化的聚合物上键合基片并剥离母板，最后采用反应离子刻蚀除去凹...
- 刘景全孙洪文
- 文献传递
- 微纳工艺中防粘连自组装薄膜技术的研究被引量：1
- 2006年
- 研究在硅基表面形成1,1,2,2 H过氟癸基三氯硅烷防粘自组装膜的方法和特性。成功地在硅基表面形成了防粘连自组装薄膜,从浸润角、表面能、薄膜成分和表面粗糙度几个角度对该薄膜进行了分析,证实薄膜可将硅基表面能降低47.35%,可满足半导体工艺中的微纳器件加工工艺的防粘连涂层的需要。
- 顾盼刘景全孙洪文陈迪
- 关键词：自组装膜微机电系统
- 基于回流技术减少纳米压印复制品表面粗糙度的方法
- 一种基于回流技术减少纳米压印复制品表面粗糙度的方法，属于微纳米聚合物结构和器件、微机电技术领域。本发明通过增加回流工艺来改善聚合物表面光洁度，首先加工母板及对母板表面进行处理，然后用母板对聚合物实施热压或纳米压印得到聚合...
- 刘景全孙洪文陈迪顾盼朱军
- 文献传递
- 一种适于热压印成型的新塑料——PETG被引量：5
- 2004年
- 通过将聚合物加热到其玻璃化温度以上 ,然后施加压力将模具上的图案转移到聚合物上的热压印成型方法 ,尝试一种新型塑料———PETG。将PETG与其它材料的热压印进行了对比性研究 ,并测试了四种不同模具对PETG的压印 ,实验结果表明 ,其复制精度都较高 。
- 孙洪文刘景全陈迪顾盼
- 关键词：热压印
- 基于RCWA的太阳能电池抗反射膜分析研究被引量：1
- 2013年
- 利用严格耦合波分析法(RCWA)分别计算了五种不同形貌的亚波长浮雕结构的太阳能电池抗反射膜性能,分别从占空比、光栅高度和周期等结构参数以及入射光角度进行模拟。研究结果表明:周期为200nm,高度为400nm,占空比为1的金字塔型浮雕结构的抗反射效果令人满意,且平均反射率低于1%;光波的入射角对光栅的反射率影响较大,光波在光栅法线的角度控制在40°以下合适。通过对亚波长浮雕结构的反射特性模拟和分析,为太阳能电池抗反射膜设计与制作提供理论支持。
- 仇浩孙洪文韩光洁倪建军
- 关键词：太阳能电池抗反射膜
- 利用加热热塑型聚合物制备纳米图案的方法
- 一种纳米技术领域的利用加热热塑型聚合物制备纳米图案的方法，首先加工原始宽尺度的印章，然后用热塑性聚合物的预聚体旋涂或者沉积到原始印章表面，固化后将热塑性聚合物从原始印章的表面揭开，得到复制的热塑性聚合物图案，最后加热聚合...
- 刘景全孙洪文陈迪
- 文献传递
- 基于热压的聚二甲基硅氧烷印章批量制备方法
- 一种基于热压的聚二甲基硅氧烷印章批量制备方法，用于微电子技术领域。通过增加热压工艺同时制备出大量聚二甲基硅氧烷印章，首先加工母板及对母板表面进行抗粘处理，然后重复用母板热压出大量聚合物模具，最后在得到的聚合物模具上旋涂或...
- 刘景全孙洪文
- 文献传递
- 低温纳米压印技术制备微纳图案的研究被引量：3
- 2008年
- 纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上,然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-8 2000.1和Hybrane胶体转移图案,能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移。采用的印章制备方法是聚焦离子束(FIB)直接在衬底上制备图案,从而避免了传统工艺中效率较慢的电子束加工和取消了反应离子刻蚀步骤;并且采用FIB方法可同时在衬底上制备微米、纳米尺度的图案。实验结果表明用FIB方法可以得到比较均匀致密的微纳米图案印章,经过低温纳米压印后可成功地实现微纳图案的复制。
- 孙洪文刘景全陈迪
- 关键词：纳米压印聚焦离子束
- 无线传感器网络中基于虚拟点优化的追踪算法被引量：1
- 2017年
- 针对利用无线传感器网络进行大范围连续目标追踪过程中,追踪精度较低及边界失真的问题,提出一种有效的基于虚拟节点优化VNOE(virtual node optimization effectively)的追踪算法,该方法利用虚拟化的距离真实边界更近的位置信息去构造所需的目标边界,从而对连续目标形状以及位置进行追踪。算法首先确定了连续目标边界点BN信息,然后依据相关边界节点信息确定虚拟点VN位置。实验表明,提出的算法一定程度上提高了追踪精度并改善了边界失真。
- 刘彬彬韩光洁孙洪文
