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王辉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中北大学微米纳米技术研究中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇压阻效应
  • 1篇隧穿
  • 1篇微加速度计
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇介观压阻效应
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇共振隧穿
  • 1篇硅微加速度计

机构

  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇温廷敦
  • 1篇吴瑞
  • 1篇王辉

传媒

  • 1篇微计算机信息

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
介观压阻效应在硅微加速度计中的应用
2007年
为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计一种四梁岛结构,通过理论分析与仿真计算,得出该结构在1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考。
王辉吴瑞温廷敦
关键词：介观压阻效应加速度计灵敏度共振隧穿
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共1页<1>
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