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王玉琦

作品数：31 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 8篇氮化镓
  • 7篇刻蚀
  • 7篇超高真空
  • 6篇外延法
  • 6篇离子刻蚀
  • 6篇溅射
  • 6篇衬底
  • 6篇磁控
  • 6篇磁控溅射
  • 5篇纳米
  • 5篇分子束
  • 5篇分子束外延
  • 5篇半导体
  • 4篇电池
  • 4篇电子束曝光
  • 4篇太阳能
  • 4篇太阳能电池
  • 4篇气相外延
  • 4篇离子
  • 4篇离子源

机构

  • 31篇中国科学院合...

作者

  • 31篇王玉琦
  • 26篇李新化
  • 16篇邱凯
  • 15篇尹志军
  • 10篇史同飞
  • 10篇钟飞
  • 9篇刘敏
  • 8篇解新建
  • 7篇马文霞
  • 6篇姬长建
  • 4篇曹先存
  • 4篇陈家荣
  • 3篇徐大林
  • 2篇刘贵锋
  • 2篇高理升
  • 2篇段铖宏
  • 2篇罗向东
  • 2篇林新华
  • 2篇肖正国
  • 2篇陈池来

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 4篇2010
  • 4篇2009
  • 7篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
共 31 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
自剥离氮化镓衬底材料的制备方法
本发明公开了一种自剥离氮化镓衬底材料的制备方法。它的制备步骤为：(a)使用分子束外延法或金属有机物气相外延法于蓝宝石衬底上生长氮化铝或氮化镓成核层，再使用氢化物或氯化物气相外延法于其上生长首层氮化镓外延层；(b)将覆有氮...
邱凯尹志军李新化钟飞解新建王玉琦
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可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法
本发明公开了一种可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法。它先将聚苯乙烯微球单层密排于基板上后，加热得到粘附有聚苯乙烯微球的基板，再使用氧等离子体刻蚀聚苯乙烯微球，随后，先依次于粘附有松散状有序聚苯乙烯微球的基板上使用电镀...
李新化史同飞刘敏马文霞张晖王玉琦
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具有色彩调变的太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种具有色彩调变的太阳能电池及其制备方法。太阳能电池为硅衬底上置有表面形成PN结的有序硅纳米线阵列，其中，硅纳米线的线直径为90‑150nm、线周期为500‑1500nm；方法为先于硅衬底表面使用纳米球模板法...
刘敏李新化史同飞马文霞王玉琦
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制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法
本发明公开了一种制备氮化镓单晶薄膜材料的装置及方法。装置为真空室(1)两端分别连通氮气管(2)、氯化氢气管(3)、氨气管(4)和排气管(8)，室内置有内置反应腔(14)的源区(5)和内置旋转支撑架(7)的生长区(6)，反...
刘贵锋解新建王玉琦
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自剥离氮化镓衬底材料的制备方法
本发明公开了一种自剥离氮化镓衬底材料的制备方法。它包括分子束外延法或金属有机物气相外延法和氢或氯化物气相外延法，步骤为(a)使用分子束外延法或金属有机物气相外延法于蓝宝石衬底上生长氮化铝或氮化镓成核层，再使用氢或氯化物气...
邱凯尹志军李新化钟飞解新建王玉琦
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圆柱面磁控溅射装置
本发明公开了一种圆柱面磁控溅射装置。它包括同轴心置于管状衬底(5)中的圆柱阴极靶(4)，连通管状衬底(5)的进气管(8)和排气管(6)，以及与管状衬底(5)和圆柱阴极靶(4)电连接的等离子体激发电源(11)，特别是管状衬...
徐大林李新化史同飞王玉琦
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用于超高真空系统的中空阳极离子源
本发明公开了一种用于超高真空系统的中空阳极离子源。它的阴极(8)下部为水冷腔(10)、上部为离化室(28)，其外依次套装绝缘套和金属套筒，水冷腔(10)下端口为贯通焊接有进水管(20)和出水管(21)的盖板(11)，出水...
徐大林邱凯李新化王玉琦曹先存尹志军罗向东
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具有色彩调变的太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种具有色彩调变的太阳能电池及其制备方法。太阳能电池为硅衬底上置有表面形成PN结的有序硅纳米线阵列，其中，硅纳米线的线直径为90‑150nm、线周期为500‑1500nm；方法为先于硅衬底表面使用纳米球模板法...
刘敏李新化史同飞马文霞王玉琦
用于10<Sup>-8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
本发明公开了一种用于10<Sup>－8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置。它的水冷腔(3)内置有软铁(5)和磁钢(4)、下端面与水冷腔密封法兰(17)上端面间置有O形金属密封圈(7)，并经螺丝(22)相...
邱凯李新化钟飞尹志军解新建王玉琦
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巨磁阻磁传感器及其制备方法
本发明公开了一种巨磁阻磁传感器及其制备方法。传感器包括基片(1)和其上的绝缘层(2)、夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)，特别是夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)外套装有线圈(3)，线圈(3)和铁磁层(4)均由绝缘层(2)裹...
李新化邱凯尹志军钟飞姬长建陈家荣王玉琦林新华陈池来高理升
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