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王建明
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘琳
中国科学院物理研究所
谢伦
中国科学院长春光学精密机械研究...
陈斌
中国科学院长春光学精密机械研究...
曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究...
高宏刚
中国科学院长春光学精密机械研究...
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谢伦
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刘琳
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王建明
传媒
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光学精密工程
年份
1篇
1997
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GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验
被引量:7
1997年
主要介绍了作为发光半导体GaN衬底材料的LiGaO2单晶超精密抛光方法及初步结果。利用聚氨酯抛光盘配合SiO2悬浮液,采用机械化学抛光方法,已加工出表面粗糙度优于0.1mm,的超光滑表面。
谢伦
高宏刚
陈斌
曹健林
王建明
刘琳
关键词:
表面粗糙度
晶体
氮化镓
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