王孝
- 作品数:3 被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术化学工程更多>>
- 基于二氧化钒的辐射率可调涂层设计被引量:3
- 2016年
- 设计了基于VO_2的非对称FP腔薄膜结构的智能热控涂层,并应用光学模拟计算的方法研究了不同膜层厚度对薄膜结构辐射率的影响,以及辐射率随角度的变化规律。计算结果表明,当相变层VO_2层的厚度从15 nm增至120 nm时,薄膜结构的辐射率变化Δε先增加再减小,VO_2厚度为50 nm时,Δε达到最大,约为0.6。介质层HfO_2的厚度主要影响多层薄膜结构的高温吸收带位置,但Δε在HfO_2层厚度为800~1 000 nm,均可达到约0.6的最大值。多层薄膜结构在0°~70°,仍保持明显的辐射率变化,Δε在0.4以上。
- 闫璐王孝曹韫真沈自才
- 关键词:二氧化钒模拟计算
- 热致变色VO_2薄膜的制备及光学性能研究
- 2013年
- 利用等离子体发射光谱监测系统(PEM)控制钒的等离子强度,在石英基底上磁控溅射制备了VO2薄膜。采用XRD、XPS、SEM、紫外-可见-近红外分光光度计及傅立叶红外分光光度计研究薄膜的结构、光学及相变特性。结果表明,所制备的VO2薄膜具有(011)取向,VO2薄膜的热滞回线宽度为25℃,可见光透过率和太阳光调节率分别可达Tlum,l=34.1%、Tlum,h=35.3%和ΔTsol=6.8%,相变前后,红外光区的反射率变化最大值可达44.4%。
- 赵晓玲王孝曹韫真闫璐章俞之
- 关键词:VO2PEM光学性能
- 应用等离子体辉光监控反馈控制反应气体流量制备VO_2薄膜的研究(英文)
- 2015年
- 采用等离子体辉光监控系统(PEM)反馈控制反应溅射过程,在石英基底上制备出单斜相VO_2薄膜,并研究了反馈控制下反应溅射的等离子体相对辉光强度与氧气流量的关系。实验结果表明:在不同的反应压强(0.8 Pa、0.5 Pa、0.2 Pa)下,通过调整相对辉光强度值(REI)均可稳定获得单斜相VO_2薄膜,对应的REI值分别为0.6~0.65、0.65、0.6。XRD测试结果表明VO_2薄膜具有明显的(011)晶面取向,XPS测试结果表明薄膜的化学计量比为VO_(2.02)。VO_2薄膜在2.5μm处的变温透过率测试结果显示薄膜在相变前后的透过率变化达到65%,相变温度确定为66℃。
- 王孝闫璐李莹曹韫真
- 关键词:二氧化钒反馈控制反应溅射