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王卿璞

作品数:69 被引量:360H指数:11
供职机构:山东大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金更多>>
相关领域:电子电信理学电气工程自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 32篇期刊文章
  • 29篇专利
  • 6篇会议论文
  • 2篇学位论文

领域

  • 30篇电子电信
  • 12篇理学
  • 5篇电气工程
  • 5篇自动化与计算...
  • 4篇一般工业技术
  • 3篇文化科学

主题

  • 17篇溅射
  • 17篇磁控
  • 17篇磁控溅射
  • 13篇射频磁控
  • 12篇射频磁控溅射
  • 12篇发光
  • 9篇溅射法
  • 9篇衬底
  • 9篇ZNO薄膜
  • 8篇光致
  • 8篇光致发光
  • 6篇二极管
  • 6篇半导体
  • 5篇等离激元
  • 5篇电容
  • 5篇氧化锌薄膜
  • 5篇射频磁控溅射...
  • 5篇退火
  • 5篇发光特性
  • 5篇表面等离激元

机构

  • 68篇山东大学
  • 1篇泰山医学院
  • 1篇济宁师范专科...
  • 1篇山东师范大学
  • 1篇中国科学院微...
  • 1篇济南半导体元...

作者

  • 69篇王卿璞
  • 15篇马洪磊
  • 14篇宋爱民
  • 12篇张锡健
  • 12篇张德恒
  • 10篇王汉斌
  • 10篇马瑾
  • 9篇张翼飞
  • 7篇宗福建
  • 6篇计峰
  • 6篇肖洪地
  • 5篇薛忠营
  • 5篇王丹丹
  • 4篇江秋怡
  • 4篇孟令国
  • 4篇林兆军
  • 4篇蒋然
  • 3篇郝晓涛
  • 2篇王汉斌
  • 2篇彭燕

传媒

  • 4篇发光学报
  • 3篇物理学报
  • 3篇功能材料
  • 3篇山东大学学报...
  • 2篇半导体情报
  • 2篇Journa...
  • 2篇功能材料与器...
  • 2篇山东大学学报...
  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇物理
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇液晶与显示
  • 1篇微计算机信息
  • 1篇半导体光电
  • 1篇国际学术动态
  • 1篇青岛大学学报...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇中国物理学会...

年份

  • 5篇2022
  • 4篇2021
  • 2篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 5篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
  • 5篇2004
  • 6篇2003
69 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种基于IGZO肖特基二极管动态调控超材料的方法
本发明涉及一种基于IGZO肖特基二极管动态调控超材料的方法,IGZO肖特基二极管包括由下自上依次生长的衬底、肖特基电极、非晶铟镓锌氧有源层、欧姆电极,包括步骤如下:(1)将超材料作为肖特基电极,并使非晶铟镓锌氧有源层完全...
张翼飞宋爱民凌昊天王卿璞
射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的绿光发射被引量:23
2004年
用射频磁控溅射法 ,在硅衬底上制备出具有良好的 (0 0 2 )择优取向的多晶ZnO薄膜。研究了室温下薄膜的光致发光特性 ,观察到显著的单绿光发射 (波长为 5 1 4nm)峰。在氧气中 830℃高温退火后 ,薄膜结晶质量明显提高 ,绿光发射峰强度变弱 ;在真空中 830℃高温退火后 ,绿光发射峰强度增加。
王卿璞张德恒马洪磊张兴华张锡健
关键词:ZNO薄膜磁控溅射
新型半导体激光器——ZnO紫外激光器被引量:22
2001年
最近人们发现在室温下ZnO薄膜能产生强烈的光受激辐射 ,这表明此种材料可用于制造紫外光半导体激光器 ,此种激光器在光信息存贮上有广泛应用 .
张德恒王卿璞
关键词:ZNO薄膜紫外激光器半导体激光器氧化锌薄膜
一种高功率低噪音的平面耿氏二极管及其制备方法
本发明涉及一种高功率低噪音的平面耿氏二极管及其制备方法,包括绝缘衬底、沟道层及设置在所述沟道层上的共平面波导,所述共平面波导的谐振腔长度为二分之一谐振波长的整数倍,所述共平面波导在谐振频率下的特征阻抗与负载的阻抗(通常为...
王汉斌宋爱民王卿璞
射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的发光特性被引量:39
2003年
利用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出具有 (0 0 2 )择优取向的氧化锌薄膜 ,用波长为 30 0nm的光激发 ,观察到在 44 6nm处有一强的光致发光峰 ,它来自于氧空位浅施主能级上的电子到价带上的跃迁。并讨论了发光峰与氧压的关系以及退火对它的影响 ,且给出了解释。
王卿璞张德恒薛忠营陈寿花马洪磊
关键词:射频磁控溅射法发光特性ZNO薄膜氧化锌薄膜
退火温度对射频磁控溅射法生长的Mg0.16Zn0.84O薄膜性质的影响
2004年
采用射频磁控溅射的方法在硅衬底上生长出高质量的Mg0.16Zn0.84O薄膜.用X射线(XRD)、原子力显微镜(AFM)分别研究了在200、400、600和800℃下空气中退火2h的Mg0.16Zn0 84O薄膜的结构、表面形貌.结果表明,Mg0.16Zn0.84O薄膜是六角纤锌矿结构,具有沿与衬底垂直的C轴的择优取向;随着样品退火温度的升高,(002)衍射峰强度明显增强,衍射峰半高宽(FWHM)由0.86°单调地降低到0.40°,晶粒大小明显增大,最大的高达400nm以上.用TV1900型双光束紫外可见分光光度计测量了淀积在蓝宝石衬底上的Mg0.16Zn0.84O薄膜室温的透射谱,得到可见光区的平均透过率约为95%,进而估算出Mg0.16Zn0.84O薄膜的带隙宽度约为3.58eV.
张锡健马洪磊王卿璞马瑾宗福建肖洪地计峰
关键词:AFMXRD退火
一种石墨烯动态调控表面等离激元等离子体频率的方法
本发明涉及一种石墨烯动态调控表面等离激元等离子体频率的方法,包括:(1)制备动态调控表面等离激元等离子体频率的器件,具体是指:在衬底层由下自上依次生长传输线金属层、周期性石墨烯凹槽层、调控石墨烯电导率的栅介质层;(2)通...
张翼飞冯明明王卿璞
文献传递
可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法
本发明公开了一种可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法,该装置由至少两个电极层与至少一个微腔层层叠排列而成,各层之间密切接触,两个最外侧均为电极层,所有电极层与微腔层上均设有至少两个定位孔,所有电极层和微腔层均通过定位...
孟令国邢建平蒋然林兆军王卿璞
退火温度对低温生长Mg_xZn_(1-x)O薄膜光学性质的影响被引量:1
2006年
用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备出MgxZn1-xO(x=0·16)薄膜,用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)和透射谱研究了退火温度对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性质的影响.测量结果显示,MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,并且具有沿c轴的择优取向;随着退火温度的升高,(002)XRD峰强度、平均晶粒尺寸和紫外PL峰强度增大,(002)XRD峰半高宽(FWHM)减小.结果证明,用射频磁控溅射法通过适当控制退火温度可得到高质量MgxZn1-xO薄膜.
张锡健马洪磊王卿璞马瑾宗福建肖洪地计峰
关键词:射频磁控溅射退火
柔性衬底铝掺杂氧化锌透明导电膜的特性研究被引量:10
2002年
室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜。其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究。
郝晓涛马瑾田茂华王卿璞马洪磊叶丽娜陈峰
关键词:透明导电膜AZO薄膜柔性衬底氧化锌表面特性光电特性
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