王利霞
- 作品数：14 被引量：71H指数：3
- 供职机构：南京邮电大学理学院更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信文化科学更多>>
- 用于微测辐射热计的氧化钒薄膜制备
- 采用射频(RF)反应溅射法,在微结构衬底上制备氧化钒薄膜,研究了氧气压、衬底温度、退火条件及薄膜厚度对薄膜电阻及电阻温度系数(TCR)的影响。在氮气保护下,采用常规退火和快速升降温退火对薄膜进行热处理。结果表明:氧分压、...
- 王利霞李建平何秀丽高晓光
- 关键词：氧化钒射频溅射法电阻温度系数
- 文献传递
- 微测辐射热计阵列结构的制备被引量：1
- 2009年
- 为了研究和优化二氧化钒(VO2)微测辐射热计的制备工艺,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了VO2微测辐射热计,经过研究和改进制备工艺,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;经测试及计算,其响应率可达34.3kV/W,探测率为1.2×108cm.Hz1/2/W,响应时间约为65.3ms。此器件性能达到国内外同类器件水平。
- 王利霞
- 关键词：二氧化钒微测辐射热计MEMS
- 三线摆方法测定物体转动惯量
- 2014年
- 转动惯量是刚体转动惯性大小的量度,是表征刚体特性的一个物理量。如果刚体形状简单,且质量分布均匀,可直接计算出它绕特定轴的转动惯量。但在工程实践中,我们常碰到大量形状复杂,且质量分布不均匀的刚体,理论计算将极为复杂,通常采用实验方法来测定。这里本文就介绍测量刚体转动惯量的三线摆方法。
- 程杰王利霞
- 关键词：转动惯量
- 用于微测辐射热计的氧化钒薄膜制备
- 2005年
- 采用射频(RF)反应溅射法,在微结构衬底上制备氧化钒薄膜,研究了氧气压、衬底温度、退火条件及薄膜厚度对薄膜电阻及电阻温度系数(TCR)的影响.在氮气保护下,采用常规退火和快速升降温退火对薄膜进行热处理.结果表明:氧分压、退火条件和薄膜厚度对电阻温度系数影响较大,需综合考虑;衬底温度对薄膜电阻的影响较大,但对电阻温度系数的影响较小;与常规退火方法相比,采用快速升降温退火有利于薄膜电阻温度系数的提高;通过优化工艺参数,制得的薄膜电阻温度系数可达(-4%/℃)左右,满足微测辐射热计的要求.
- 王利霞李建平何秀丽高晓光
- 关键词：氧化钒射频溅射法电阻温度系数
- 用于微测辐射热计的氧化钒薄膜制备
- 采用射频(RF)反应溅射法,在微结构衬底上制备氧化钒薄膜,研究了氧气压、衬底温度、退火条件及薄膜厚度对薄膜电阻及电阻温度系数(TCR)的影响.在氮气保护下,采用常规退火和快速升降温退火对薄膜进行热处理.结果表明:氧分压、...
- 王利霞李建平何秀丽高晓光
- 关键词：氧化钒射频溅射法电阻温度系数微测辐射热计
- 文献传递
- 大学物理实验教学改革与探索被引量：25
- 2009年
- 为了提高物理实验教学质量,培养具有独立科研能力和创新思维的人才,必须对传统的物理实验教学模式和教学体系进行改革,以适应新形势对人才的要求。文章总结介绍了南京邮电大学多年来对物理实验教学进行的改革及探索工作。通过对教学模式、教学体系、教学方法和教学内容等方面的改革实践,极大地促进了教与学的相互提高,调动了学生的学习积极性,学生的实践能力和创新能力等综合素质得到了明显提高。
- 王利霞
- 关键词：大学物理实验教学体系开放式教学实验教学改革
- 用于微测辐射热计的二氧化钒薄膜的制备
- 二氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数和良好的绝热性能,这一性质使其在非致冷红外焦平面和微测辐射热器件上得到了广泛应用,成为近年来国内外研究的热点。本文采用射频溅射法制备了二氧化钒薄膜,并研究了各个参数如氧分压、衬底温度、薄...
- 王利霞李建平何秀丽高晓光
- 关键词：二氧化钒射频溅射快速退火电阻温度系数
- 文献传递
- 退火条件对氧化钒薄膜电学性能的影响
- 2011年
- 文中采用射频反应溅射法制备氧化钒薄膜,并用三段式控温退火炉对薄膜进行快速升降温退火处理。文中重点就退火条件对氧化钒薄膜的电学性能的影响进行了研究。研究结果表明:退火时间和退火温度均对薄膜电学性能有较大影响,考虑到氧化钒薄膜热敏性能要求,兼顾微测辐射热计制备工艺(即微电子机械系统(简称MEMS)工艺)要求,退火时间约1～2小时,退火温度应控制在400℃～500℃之间。
- 王利霞王海云严刚
- 关键词：二氧化钒电阻温度系数微测辐射热计
- 纳米材料在气敏传感器上的应用现状研究被引量：1
- 2011年
- 气体传感器在各个领域中都得到了广泛的应用。理想的气敏传感器在性能上应该有如下的优点:灵敏度高,选择性好,功耗低、长期工作情况下稳定性好、成本低等。然而,实际的气敏传感器由于材料、制备工艺等各种因素的限制,往往不能很好的满足应用的需求。因此,人们一直都致力于改善其性能的研究。而纳米材料的独特表面特性为气体传感器的性能改善提供了良好的机遇。文中将重点对纳米材料和技术在气敏传感器上的应用现状进行详细地讨论。
- 王利霞
- 关键词：纳米材料气敏传感器
- 二氧化钒微测辐射热计的制备及工艺被引量：3
- 2010年
- 针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统（MEMS）体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18.1kV/W;探测率为1.37×10^8cmHz1/2/W;热时间常数为72.4ms。
- 王利霞何秀丽高晓光
- 关键词：二氧化钒微测辐射热计MEMS红外
