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王久洪
作品数:
97
被引量:26
H指数:3
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西安交通大学
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国家自然科学基金
陕西省自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
蒋庄德
西安交通大学机械工程学院机械制...
赵立波
西安交通大学机械工程学院机械制...
杨萍
西安交通大学
李支康
西安交通大学
赵玉龙
西安交通大学机械工程学院机械制...
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1篇
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基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法
基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法,传感器包括通过支撑梁固定在边框上的质量块,质量块、支撑梁悬空,质量块外侧布置运动限位结构;质量块前端设置有一个凸起的探针,质量块末端布置有动梳齿阵列组,与动梳齿阵...
高文迪
刘存朗
赵立波
谭仁杰
刘晓明
韩香广
卢德江
杨萍
王小章
王久洪
蒋庄德
一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法,包括四组相同的子结构,四个子结构均匀对称分布于固定岛周围。固定岛与质量块之间通过内支撑梁连接,质量块与外框之间通过外支撑梁连接。敏感梁对称分布于外支撑梁两侧...
蒋维乐
于明智
赵立波
贾琛
李支康
王久洪
赵玉龙
蒋庄德
文献传递
一种面内双向振动体PZT能量收集器及能量收集方法和制备方法
本发明公开一种面内双向振动体PZT能量收集器及能量收集方法和制备方法,包括外框架、L型压电悬臂梁、质量块、电极和封装外壳,外框架的形状为环形,L型压电悬臂梁和质量块设置于外框架的内圈,L型压电悬臂梁的一端与外框架1连接,...
赵立波
王路
罗国希
杨萍
李支康
李磊
王久洪
蒋庄德
文献传递
一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法
一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法,芯片包括基底中部的薄膜,四条浅槽沿着薄膜上部边缘分布,四条浮雕梁设置于相邻两条浅槽端部之间且与基底相连,浮雕梁的上表面、薄膜的上表面与浅槽的底面组成了梁槽结合台阶式薄膜结构...
蒋庄德
徐廷中
赵立波
彭年才
王久洪
郭鑫
许煜
苑国英
赵玉龙
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法,芯片采用SOI硅片制成,包括芯片外框架,芯片外框架每一侧与两个质量块之间通过支撑梁连接,支撑梁为“T”型结构,其一端固定于芯片外框架,另外两端分别与延伸梁和质量块连接;敏感压阻微...
赵立波
贾琛
罗国希
于明智
杨萍
李支康
王久洪
蒋庄德
文献传递
一种纯轴向变形的MEMS三轴压阻式加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种纯轴向变形的MEMS三轴压阻式加速度计芯片及其制备方法,该传感器中的X测量单元、Y测量单元和Z测量单元分别用于测量X方向、Y方向和Z方向的加速度,实现三个方向加速度的分离测量;每个测量单元包括质量块、支撑...
赵立波
于明智
马银涛
贾琛
皇咪咪
杨萍
王久洪
蒋庄德
基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器
被引量:1
2013年
本文采用基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器分别在26-34℃和30-50℃范围内,对甲苯和0.65CS二甲基硅油进行了密度实验研究。选用甲苯作为标准液对该传感器的工作参数进行标定,并测量了甲苯在26℃,30℃和34℃处的密度值。将甲苯的密度实验值与参考值进行比较,得到最大绝对偏差和平均绝对偏差分别为0.70%和0.43%。使用已标定的密度传感器对0.65CS二甲基硅油进行密度测量,并将硅油的密度实验值与参考值进行比较,得到最大绝对偏差和平均绝对偏差分别为4.21%和4.16%,低于5%,满足工程上的需要。
赵立波
徐龙起
热合曼.艾比布力
张桂铭
蒋庄德
赵玉龙
王久洪
王晓坡
刘志刚
关键词:
MEMS
谐振频率
传感器
拱形发电装置及无线传感装置
本申请公开了一种拱形发电装置及无线传感装置,属于发电技术领域。包括:固定台、第一拱形发电单元以及第二拱形发电单元;第一拱形发电单元包括第一拱形弹性件以及第一压电发电件,第二拱形发电单元包括第二拱形弹性件以及第二压电发电件...
王路
段从升
赵立波
高文迪
韩香广
李敏
赵一鹤
夏勇
李支康
朱楠
王久洪
前田龙太郎
蒋庄德
一种分段质量块应力集中结构微压传感器芯片及制备方法
一种分段质量块应力集中结构微压传感器芯片及制备方法,传感器芯片包括基底上的薄膜,四条浅槽沿着薄膜上部边缘分布,四个压敏电阻条布置在相邻两条浅槽端部之间,金属引线将四个压敏电阻条连接成半开环惠斯通电桥,四个凸块沿薄膜下部的...
赵立波
徐廷中
蒋庄德
彭年才
王久洪
郭鑫
许煜
苑国英
赵玉龙
文献传递
一种耐高压MEMS压力传感器封装结构和封装方法
本发明公开了一种耐高压MEMS压力传感器封装结构和封装方法,采用玻璃浆料烧结将台阶式压力敏感单元与可伐合金基座进行密封连接,可伐合金基座与不锈钢基座进行焊接密封,外部压力通过不锈钢基座通孔直接作用在压力敏感芯片背部的敏感...
赵立波
樊姝
韩香广
皇咪咪
李支康
王李
高漪
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陈科
王小章
杨萍
王久洪
苏文斌
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