杨松涛
- 作品数：9 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 紫外激光在精细加工中的应用研究被引量：4
- 2011年
- 论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点。并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的一些工艺参数。
- 韩微微杨松涛高爱梅
- 关键词：紫外激光蓝宝石单晶硅
- PZT陶瓷的激光加工研究
- 2016年
- 介绍了压电陶瓷的分类特性和加工方式,以及激光在压电陶瓷加工中的原理和应用,通过分析计算解决了激光加工过程中的精度误差问题,提高了加工精度和效率,取得了良好的加工效果;研究结果可以应用于相关激光加工设备的升级和改进。
- 杨松涛张文斌裴章琴程秀全赵立华
- 关键词：压电陶瓷激光加工
- 激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计
- 2012年
- 针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求,改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式,设计并实现新的激光加工工艺时序,拓展了激光加工设备的应用领域。
- 张文斌靳卫国连军莉杨松涛
- 关键词：激光加工PZT陶瓷
- 半导体专用设备的电气控制柜设计研究
- 2015年
- 对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等。对于推动半导体专用设备的标准化、系列化研制具有重要作用。
- 赵立华任晓庆杨晓静杨松涛
- 关键词：控制柜人机工程
- 355nm激光新型陶瓷加工研究被引量：8
- 2011年
- 新型陶瓷材料以其独特的优越性,广泛应用于机械、电力电子、纺织、航空航天、医疗器械、石化等领域,几乎遍及现代科技的每一个角落,应用前景十分广阔。讨论了新型陶瓷的紫外激光加工方式和加工的原理;介绍了355nm激光加工特点以及实验的研究结果。
- 杨松涛韩微微张文斌高航
- 关键词：新型陶瓷光化学反应
- 激光加工中切割PZT陶瓷的控制改进被引量：1
- 2016年
- 介绍在原有激光加工切割PZT陶瓷的工艺过程中,加入机械工装夹具后,软件部分进行的控制改进,并通过生产现场的测试数据来对技术升级进行验证,效果良好,并得到了客户的一致好评。
- 张文斌杨松涛刘红英
- 关键词：激光加工PZT陶瓷
- 激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计
- 2013年
- 针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求,改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式,设计并实现新的激光加工工艺时序,拓展了激光加工设备的应用领域。
- 张文斌靳卫国连军莉杨松涛
- 关键词：激光加工PZT陶瓷
- 激光加工中自动旋转校位切割的研究
- 2012年
- 针对激光加工设备在Al2O3晶圆切割过程中的效率提高问题以及客户需求,通过图像识别功能,研究并设计实现晶圆的自动旋转校位与自动切割功能,极大地提高了晶圆切割效率。
- 张文斌孟宪俊孟凡辉杨松涛
- 关键词：激光加工
- 双面对准光路系统设计
- 2013年
- 针对激光划片机中提出的双面图形加工要求,设计了双面对准光路系统,满足图形双面识别和激光划片的要求。介绍了正反面光路结构的设计、光源配置以及图像识别算法的应用,通过试验验证了该技术的可行性。
- 高爱梅杨松涛
- 关键词：激光划片
