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杨晓峰
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复旦大学
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郭亮
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一种尺蠖式压电电机
本发明公开了一种尺蠖式压电电机。其包括至少两个尺蠖式致动模块,尺蠖式致动模块之间形成串联结构;尺蠖式致动模块由压电叠堆组、模块动子与柔性结构组成,每个压电叠堆组有至少两个运动方向。压电叠堆组通过对模块动子反复做夹紧‑促动...
徐云浪
杨奕潇
杨晓峰
一种无轴承弧形压电电机
本发明公开了一种无轴承弧形压电电机;其包括尺蠖压电驱动模组和C字弧形动子;弧形动子的内弧面和内侧面交界处进行45°倒角形成内倒角面,以作为接触面和内倒角面尺蠖压电驱动模组接触,内倒角面尺蠖压电驱动模组沿弧线在动子内倒角面...
徐云浪
郭亮
杨晓峰
压电陶瓷电机动子装配装置
本发明公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装,用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子,包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成,并设置于上支撑板和下支撑板之...
杨晓峰
郝凌凌
王振华
康华洲
陈庆生
一种重力补偿器及承载装置
本发明属于磁吸技术领域,公开了一种重力补偿器及承载装置。该重力补偿器包括:第一磁组件,第一磁组件包括磁基座和设置于磁基座上的第一磁体阵列,第一磁体阵列沿Z轴方向延伸;第二磁组件,第二磁组件包括磁框架和设置于磁框架上的第二...
丁晨阳
张佩瑾
杨晓峰
文献传递
光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法
本发明公开了一种光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法。微运动平台在结构上采用由对称分布的磁阻式电机和高精度的音圈电机相结合的方式,由磁阻式电机提供高加速所需的大推力,由音圈电机提供高精度的定位能力,双重电机驱动模式的采...
陈庆生
杨晓峰
徐云浪
吴立伟
文献传递
具有法布里珀罗腔的闪耀光栅及其制造方法
本申请公开了一种具有法布里珀罗腔的闪耀光栅。该闪耀光栅包括:光栅衬底、法布里珀罗腔和多个栅条。多个栅条设置在所述光栅衬底的上表面上并彼此平行且间隔开。法布里珀罗腔设置在所述光栅衬底的上表面上且所述法布里珀罗腔腔沿所述多个...
胡绘钧
杨晓峰
文献传递
一种差分磁阻电机装置
本发明实施例公开了一种差分磁阻电机装置。该差分磁阻电机装置包括:磁阻驱动机构,磁阻驱动机构包括磁阻驱动机构定子和磁阻驱动机构动子;磁阻驱动机构定子包括定子铁芯、线圈和导磁件,线圈绕在定子铁芯上,导磁件与定子铁芯相互连接,...
徐云浪
苏新艺
刘子东
丁晨阳
杨晓峰
一种混合驱动微动台
本发明公开了一种混合驱动微动台,该微动台至少包含第一运动框架、第二运动框架和基座。第一运动框架包含第一动子和第一定子,第二运动框架包含第二动子和第二定子。第一动子通过多个第一柔性结构连接到第二动子上;第一定子固定在第二动...
徐云浪
苏新艺
郭亮
杨晓峰
一种针对运动台柔性模态的陷波滤波器自动设计方法
本发明属于精密运动台减振技术领域,具体为一种针对运动台柔性模态的陷波滤波器自动设计方法;本发明方法包括柔性模态谐振峰识别,陷波滤波器的参数计算,根据滤波效果迭代设计。由于运动台存在柔性模态,在高频部分柔性模态谐振产生多个...
孙煜
杨晓峰
俞开程
于健博
程文宝
磁悬浮导向装置及其控制系统和控制方法
本发明公开了一种用于磁悬浮导向装置及其控制系统和控制方法。磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元,动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。每对动子包括第一动子滑块单元和第二动子滑块单元。控制系统包括位置设定装置、间隙测...
吴立伟
杨晓峰
陈庆生
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