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杨培志
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云南大学
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陈雨璐
云南大学
熊飞
云南大学
李学铭
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李学铭
2篇
熊飞
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陈雨璐
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杨培志
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2015
1篇
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一种纳米孔复制结合溅射沉积自组装有序Ge/Si量子点阵列的新方法
本发明提供一种在Si衬底上溅射沉积大面积均匀、有序Ge量子点阵列的自组装生长方法,包括超薄Si基阳极氧化铝(AAO)的制备、纳米孔复制制备图案衬底和采用离子束溅射的方法在图案衬底表面自组织生长均匀、有序的Ge量子点阵列。...
熊飞
杨培志
陈雨璐
李学铭
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一种纳米孔复制结合溅射沉积自组装有序Ge/Si量子点阵列的新方法
本发明提供一种在Si衬底上溅射沉积大面积均匀、有序Ge量子点阵列的自组装生长方法,包括超薄Si基阳极氧化铝(AAO)的制备、纳米孔复制制备图案衬底和采用离子束溅射的方法在图案衬底表面自组织生长均匀、有序的Ge量子点阵列。...
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