李莉莉
- 作品数：17 被引量：19H指数：2
- 供职机构：北京真空电子技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国际热核聚变实验堆计划中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术化学工程理学更多>>
- 3mm回旋行波管微波等离子体化学气相沉积金刚石输出窗被引量：2
- 2014年
- 为了解决目前3mm回旋行波管所使用的蓝宝石输出窗因功率容量不足而发生破裂的问题。从抗热震性和功率容量两个方面出发,对常用的几种窗片材料进行了对比。在国内首次以微波等离子体化学气相沉积金刚石为窗片材料,利用数值计算及ANSYS软件仿真设计了用于3mm回旋行波管的低反射,低吸收,宽带宽,高功率容量的输出窗。结果表明,所设计的输出窗适用于TE01模式输出,其S11参数小于-20dB的带宽为6GHz。同时,该输出窗具有良好的抗热震性,在自然对流散热条件下具有61kW的功率容量。
- 曾旭王峨锋李莉莉冯进军
- 关键词：回旋行波管输出窗金刚石抗热震性功率容量
- 微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究被引量：2
- 2014年
- 超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表明,合成的UNCD膜表面光滑平整,晶粒为纳米尺度,断面结构致密。X射线衍射分析显示,超纳米晶金刚石薄膜主要是以(220)取向为主的多晶体结构,计算得到的平均晶粒尺寸为10nm。拉曼光谱分析呈现出典型的超纳米晶金刚石特性,膜中存在一定的sp2相。UNCD的光学透过率测试显示:在波长≥4μm范围内,光学透过率≥60%。
- 李莉莉丁明清杜英华蔡军胡银富冯进军
- 关键词：太赫兹微波等离子体化学气相沉积
- 石英钟罩对MPCVD金刚石膜沉积的影响被引量：1
- 2014年
- 为了提高高品质金刚石膜的沉积速率,利用CST三维电磁场仿真软件,模拟了Diamo Tek700微波等离子体化学气相沉积设备中,在忽略等离子体存在的前提条件下,石英钟罩的厚度和形状对沉积金刚石膜的基片表面电场分布的影响。同时采用壁厚3 mm,3.5 mm和4 mm的平顶和壁厚4 mm的圆顶钟罩分别进行了金刚石膜的沉积实验。模拟结果显示,对于同一类型的石英钟罩,壁厚的变化（3-4 mm）对基片表面平均电场影响不大;而壁厚相同的圆顶钟罩情况下基片表面平均电场则比平顶的高出10%。壁厚4 mm的圆顶石英钟罩得到了相对较高且均匀的电场分布。结果表明,沉积速率与模拟的基片表面电场强度存在对应关系;采用壁厚4 mm圆顶钟罩与原厂设计的壁厚3 mm平顶钟罩相比,在相同的工艺条件下,沉积速率提高一倍,达到1.4μm/h。
- 李莉莉丁明清潘攀胡健楠冯进军
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石钟罩沉积速率
- MPCVD生长B掺杂金刚石膜的二次电子发射研究(英文)被引量：1
- 2013年
- 研究了B掺杂金刚石膜的负电子亲和势(NEA)的行为。对于B_2H_6/CH_4为10 mg/L和2 mg/L的样品,一次电子能量为1 keV时最大二次电子发射系数(SEE)分别达到18.3和10.9。值得注意的是,这两个样品在测试前已在大气中搁置了几个星期,并且测量前未经过任何处理。如此高的SEE表明,样品在大气中暴露后NEA效应仍得到了保留。另外,10 mg/L B_2H_6/CH_4掺杂样品在酸溶液中处理后NEA消失,SEE较低,而在真空中加热后NEA明显恢复,SEE在1 kV时达到10.2。
- 丁明清李莉莉冯进军
- 关键词：负电子亲和势
- 微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究
- 超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表...
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- 关键词：太赫兹微波等离子体化学气相沉积
- MPCVD金刚石的研制及其应用研究
- 本文介绍微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石的研制及其应用研究。讨论了影响RF级金刚石膜生长的各种参数及其选择原则,给出了金刚石膜的表征方法和结果。最后介绍了金刚石在短毫米波TWT中初步应用进展。
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- 关键词：内应力夹持杆
- 文献传递
- 太赫兹行波管倍频器用金刚石输能窗研究被引量：3
- 2013年
- 本文主要研究一种太赫兹行波管倍频器的输能系统,采用双频分路输能窗方案,分别对W波段基波和太赫兹谐波盒型窗进行了设计。利用MPCVD设备研制了RF级金刚石窗片材料,并对窗片的制备、金属化及窗的封接工艺进行了研究。研制出了基波系统金刚石窗,测试结果显示,在28GHz频带内电压驻波比小于1.3,传输损耗小于0.5dB,已在W波段行波管中得到了实际应用;谐波输能窗已完成了设计。
- 杜英华丁明清胡银富李莉莉董芮彤冯进军
- 关键词：太赫兹电压驻波比传输损耗
- 微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究
- 超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值。本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征。利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜。扫描电子显微镜分析表...
- 李莉莉丁明清杜英华蔡军胡银富冯进军
- 关键词：太赫兹微波等离子体化学气相沉积
- 文献传递
- 太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究被引量：1
- 2015年
- 微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过反应气源和沉积参数的改变,实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm,生长面的断裂强度高达1550MPa,是普通多晶金刚石膜的三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试,将首次应用于太赫兹真空器件。
- 李莉莉丁明清杜英华冯进军胡健楠
- 关键词：太赫兹密封性
- 超薄复合金刚石膜的研制
- 太赫兹行波管用微米金刚石输能窗片的厚度接近100μm甚至几十μm,带来了机械强度与气密性问题。我们设计并研制了一种100μm厚的超纳米和微米复合金刚石膜。测试结果表明,断裂强度和气密性明显优于微米金刚石膜。利用复合膜制成...
- 丁明清李莉莉胡健楠杜英华蔡军胡银富冯进军
- 关键词：传输损耗
- 文献传递
