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李东光

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:上海大学更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇光学
  • 2篇光学薄膜
  • 1篇淀积
  • 1篇淀积技术
  • 1篇入射
  • 1篇入射角
  • 1篇离子镀
  • 1篇膜厚
  • 1篇膜厚监控
  • 1篇极值法
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机模拟
  • 1篇监视控制

机构

  • 1篇上海机械学院
  • 1篇上海大学

作者

  • 2篇周鹏飞
  • 2篇李东光

传媒

  • 1篇上海机械学院...
  • 1篇第五届全国光...

年份

  • 1篇1990
  • 1篇1988
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
监控光路入射角对极值法膜厚监控的影响
李东光周鹏飞
关键词:光学薄膜计算机模拟监视控制极值法入射角
光学薄膜镀制技术的对比研究
1990年
本文介绍了两种光学镀膜真空淀积技术——离子辅助淀积和反应离子镀,并详述了近年来的应用及进一步的发展。
F.弗洛里C.昂拉M.科芒德烈E.佩尔蒂埃G.阿尔布朗李东光周鹏飞
关键词:光学薄膜离子镀淀积技术
共1页<1>
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