朱健
- 作品数：2 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信动力工程及工程热物理理学更多>>
- 二氧化硅薄膜导热系数试验研究被引量：8
- 2005年
- 根据3ω方法测试原理,搭建了薄膜导热系数测试平台.在40～170K温度范围内,测试等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备的SiO2薄膜导热系数,同时测试了掺杂体态硅基底的导热系数.测试结果表明:在这个温度范围内,SiO2薄膜的导热系数随着温度升高而增大;杂质对体态硅的导热系数存在很大的影响.基于Callaway模型对体态硅导热系数测试结果进行拟合得到的掺杂浓度与实际值吻合较好,表明3ω方法测试原理不仅可以用来测试纳米薄膜的热传导系数,还可用来测定体态硅基底的掺杂浓度.
- 胡明雨陈震杨决宽庄苹朱健陈云飞
- 关键词：SIO2薄膜导热系数
- InGaAs/InGaAsP超晶格薄膜导热系数测试
- 2006年
- 采用3ω方法在100～320 K温度范围内测试了不同周期长度的InGaAs/InGaAsP超晶格薄膜的导热系数.结果表明对于周期性超晶格结构,随着温度的升高,热传导能力下降;比较周期长度不同的超晶格结构的测试结果,发现导热系数会随着周期长度的增大而减小,并在某一周期长度取得最小值,但随着周期长度的进一步增大,导热系数又出现上升趋势,表明在长周期超晶格结构中界面热阻是影响声子传输的主要因素.理论计算表明,对于短周期的超晶格结构,Bragg反射是造成产生最小值的原因之一,由于声子穿透率的下降,造成导热系数随着周期长度的增大而减小.理论与实验研究结果表明,随着周期长度的增大,声子的传输规律由声子的波动性过渡到粒子性,这对实现声子的剪裁具有重要意义,为设计超晶格结构提供理论基础.
- 陈震杨决宽庄苹陈敏华朱健陈云飞
- 关键词：导热系数超晶格
