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徐英惠

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：河北省科学院更多>>
发文基金：河北省重大科技攻关项目更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇预处理
  • 1篇热沉
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇金属化
  • 1篇CVD
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇河北省科学院
  • 1篇天津工业大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇潘存海
  • 1篇杜素梅
  • 1篇李俊岳
  • 1篇李桓
  • 1篇徐英惠

传媒

  • 1篇材料热处理学...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CVD金刚石膜热沉表面金属化被引量：5
2003年
提出一种金刚石膜热沉表面金属化新工艺。该工艺采用Ti Ni Au体系和电子束真空镀膜方法 ,并经过金刚石膜预处理和后续低温真空热处理获得了良好的结合性能。研究表明 :预处理对金属层和金刚石膜的结合强度影响显著 ,结合强度由原来的 1 4 0MPa提高到 48 9MPa ;金刚石膜 Ti Ni Au经过 1 0 0次从 2 0 3K到 42 3K冷热循环 ,金属和金刚石膜之间没有发现脱膜现象。XRD进一步证实 :经过后续 673K× 2h低温真空热处理 ,Ti 金刚石膜界面形成TiO和TiC。Ti和金刚石膜之间的扩散与反应产物不仅取决于反应温度 。
潘存海杜素梅李桓李俊岳徐英惠
关键词：金刚石膜金属化预处理热沉CVD
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