徐毅
- 作品数：44 被引量：252H指数：10
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士研究生创新基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信理学更多>>
- 激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响被引量：4
- 1994年
- 拍频干涉法可用于纳米、亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要取决于单位频差─—位移当量的非线性。本文对影响非线性的因素进行了试验分析和理论计算，结果表明，非线性范围为０．０７～１．５ｎｍ。
- 许婕徐毅李成阳
- 关键词：干涉仪纳米级激光功率
- 原子力显微镜校准技术的研究
- 该文研究了一台具有中等测量范围，并加装了由三台微型激光干涉仪组成的三维测量系统的计量型原子力显微镜的扫描器校准，提出了单参数校准和三维校准两种方法。所设计的干涉仪的布局特别适合于计量特性的研究（如一个移动轴在其它两个从标...
- 高思田邵宏伟王春艳叶孝佑徐毅
- 关键词：原子力显微镜计量校准
- 文献传递
- 共焦显微镜
- 一种共焦显微镜包括：光源部分；分光镜，将入射光分为透射光和反射光；物镜；工作台，放置试样；共轭光阑，与物镜的聚焦点共轭；第一探测器，检测透过共轭光阑的光；光源部分产生相干光。还包括一反光镜；透射光和反射光之一经物镜照射在...
- 邵宏伟徐毅高思田叶孝佑陈允昌许捷李晶
- 文献传递
- 微机械及纳米计量科学被引量：23
- 2000年
- 简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
- 徐毅高思田王春艳叶孝佑
- 关键词：微机械微电子精密仪器
- 马来西亚标准和工业研究院简介
- 1996年
- 马来西亚标准和工业研究院简介潘必卿，施昌彦，徐毅（中国计量科学研究院）一、ＳＩＲＩＭ及其计量中心概况１．ＳＩＲＩＭ概况马来西亚领土面积约３３万平方公里，人口约１９００万，于１９９３年独立。天然资源中以锡、橡胶居世界之首，还出口木材、原油等。１９６９年...
- 潘必卿施昌彦徐毅
- 可调合成波长链绝对距离干涉测量被引量：4
- 2002年
- 本文提出一种利用半导体激光器的波长调谐特性实现的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法 ,针对不同的待测距离 ,可选择不同的合成波长链 ,完成对待测距离的由粗测到精测的整个过程。文中基于这种方法构建了干涉测量系统 ,该系统利用压电陶瓷调制的在一条直线上的两个双光束干涉仪 ,使待测距离被包含于一个交流信号的相位项中 ,从而使小数条纹的测量转化为相位测量 ,合成波干涉条纹的小数级次由单波长干涉信号的相位测量值计算得到。文中以外尺寸测量为例描述了实验装置 ,实验结果表明 ,在现有的测量系统和实验条件下 ,待测距离小于 5mm时的测量极限偏差优于 2 0μm。
- 晁志霞殷纯永徐毅许婕
- 关键词：外腔半导体激光器绝对距离测量稳频技术调谐特性
- 用于大范围纳米测量的法布里-珀罗干涉仪被引量：17
- 1999年
- 本文在中国计量科学研究院研制的差拍法－ 珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－ 珀干涉仪测量范围的方法———换模锁定法，将激光频率依次锁定于法－ 珀腔的各个干涉级次，从而突破了激光器调谐范围的限制，拓深了该系统实现大范围纳米测量的能力。实验结果表明，在目前的实验条件下，换模锁定法的采用使该干涉仪的测量范围从原来的０１８ μｍ 左右扩大为１１ μｍ 。本文对实验结果进行了误差分析。
- 晁志霞许婕徐毅
- 关键词：干涉仪
- 高精度微位移差拍激光干涉仪被引量：13
- 1990年
- 本文介绍用于高精度微位移测量的差拍激光干涉仪,其不确定度优于1×10^(-3)μm,可望作为研究多种微位移测量方法的标准。
- 徐毅叶孝佑李成阳邹玲丁许婕高峰
- 关键词：激光干涉仪微位移测量差拍
- 激光干涉仪非线性的测量被引量：10
- 2003年
- 激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。
- 许婕徐毅叶孝佑
- 关键词：计量学
- 折迭法布里-珀罗高精度位移干涉仪
- 徐毅叶孝佑李成阳
- 关键词：法布里-珀罗干涉仪传感器位移计位移度测量
