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徐晓峰
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
华东理工大学理学院物理系
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相关领域:
理学
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合作作者
王璞
华东理工大学理学院物理系
杜明贵
华东理工大学理学院物理系
陆慧
华东理工大学理学院物理系
夏姣贞
华东理工大学理学院物理系
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2006
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低温沉积ZnO薄膜的压敏特性及其热处理影响
被引量:4
2006年
采用GDARE法在较低温度下,通过一次和多次沉积制备单层及多层ZnO薄膜.AFM和XRD分析表明,薄膜具有以ZnO(002)晶面取向为主的多晶结构,多层膜的晶粒尺寸增大.经200~300℃退火热处理,薄膜呈现出良好的低压压敏特性.经200℃退火热处理后,多层ZnO薄膜的非线性系数达到61.54,压敏电压20.10V.在一定范围内升高热处理温度,可明显降低压敏电压.分析了不同膜层及热处理温度对ZnO薄膜压敏特性的影响机理.
夏姣贞
陆慧
王璞
徐晓峰
杜明贵
关键词:
ZNO薄膜
膜层
压敏电压
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