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张绍宗
作品数:
5
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国航空精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
航空宇航科学技术
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合作作者
吕海宝
国防科学技术大学
陈智锋
国防科学技术大学
赵秀珍
中国航空精密机械研究所
陈文彦
中国航空精密机械研究所
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1篇
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机构
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中国航空精密...
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国防科学技术...
作者
5篇
张绍宗
1篇
陈智锋
1篇
吕海宝
1篇
陈文彦
1篇
赵秀珍
传媒
3篇
航空精密制造...
1篇
光学工程
1篇
中国仪器仪表...
年份
1篇
2001
1篇
1999
1篇
1997
1篇
1996
1篇
1989
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炫耀光栅位移测量系统的精度试验
1989年
炫耀光栅位移测量系统采用尤学倍增与电子细分相結合的方法,使系统的分辨率达到0.4微米。与金属线纹尺比较测量,系统在300毫米内的极限误差为1.5微米。试验证明炫耀光栅位移测量系统具有较高的精度,如能进一步提高标尺光栅的刻划精度,并相应地提高分辨率,系统的实际精度还可以提高。
张绍宗
陈文彦
关键词:
仪器
大量程纳米分辨率超精密测径仪
被引量:4
2001年
提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪,该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成,采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段,以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0~100mm。
陈智锋
吕海宝
张绍宗
关键词:
超精密
纳米级炫耀光栅测量系统稳定性研究
记述了炫耀光栅的工作原理及纳米级分辨率的实现方法。弦耀光栅测量系统具有分辨率高、测量范围大、光栅间隙大等优点,但当用激光做光源时,由于激光本身有角度漂移,会影响到测量系统的稳定性。针对激光的角度漂移问题,采用单模光导纤维...
张绍宗
关键词:
单模光导纤维
衍射光栅
光栅测量系统
提高粒度仪定体积精度的新方法
1996年
介绍了一种提高粒度仪定体积精度的新方法.该方法使用方便,定体积精度比原方法能提高一倍到一个数量级.
张绍宗
赵秀珍
关键词:
粒度仪
传感器
容栅数显高度仪
1997年
介绍了容栅传感器的结构、原理及特点。
张绍宗
谢绍兰
程锡纯
关键词:
容栅
电容传感器
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