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张燕生
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院电子学研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
林世昌
中国科学院电子学研究所
范炳林
中国科学院电子学研究所
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林世昌
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张燕生
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范炳林
传媒
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电子科学学刊
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仪表技术与传...
年份
2篇
1995
1篇
1994
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精密传感器的电子束真空封装和半穿透焊接技术
1994年
真空电子束焊接具有许多特点,用于精密传感器的封装焊接和特殊焊接是非常合适的,本文专题介绍真空封装和半穿透焊接技术。
林世昌
张燕生
范炳林
关键词:
传感器
电子束
真空封装
扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜(SOI)的实验研究
1995年
在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜,即SOI技术,是近年发展起来研制三维集成电路的一项新技术。本文讨论了利用扫描电子束对淀积在SiO_2上的多晶硅薄膜进行改性的实验。采用籽晶液相外延形成单晶硅薄膜。本实验的重点在于摸索电子束的功率密度、扫描速度、衬底的温度和样品结构等因素对形成单晶硅薄膜质量的影响。实验取得了较好的结果,获得了200×25μm^2的单晶区。
林世昌
张燕生
张国炳
王阳元
关键词:
材料改性
绝缘
衬底
电子束刻蚀超导膜的实验研究
1995年
本文论述了扫描电子束对YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法。
林世昌
张燕生
柴璋
李碧钦
关键词:
超导膜
刻蚀
材料改性
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