张发荣
- 作品数：22 被引量：24H指数：3
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- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程理学轻工技术与工程一般工业技术更多>>
- 二维流体模型的建立及其在微晶硅薄膜中的应用被引量：1
- 2008年
- 建立二维流体模型,研究甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PEVCVD)高速沉积氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜。模型采用平行电容耦合放电方式。模拟条件与实验条件相同,均为甚高频(70MHz)、高H2稀释SiH4和高压耗尽区域。模型的几何结构是根据实际高速沉积μc-Si:H薄膜的反应腔室建立的。模型是自适应的,建立在玻尔兹曼方程和泊松方程基础之上,包含87个气相反应和25个表面反应。将模拟沉积速率与相同实验条件下的结果相比较,结果发现,模型在微晶区域运行结果与实验结果吻合得很好。
- 张发荣张晓丹Amanatides EMatras D赵颖
- 关键词：微晶硅
- 微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性研究被引量：1
- 2008年
- 采用空间分辨光发射谱和傅里叶变换功率阻抗分析仪研究了衬底偏压和辉光功率对微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性的影响.研究表明:在交流偏压(AC)、悬浮(floating)、负直流加交流(-DC+AC)偏压下,Hα发射强度空间分布规律相似,平均鞘层长度相等;正直流加交流(+DC+AC)偏压和接地(grounded)时Hα发射强度显著增强,并存在双峰(doublelayers)现象.增大功率,Hα发射强度也随着增大,并在17W与22W之间产生跳变.电学测试发现功率增大,等离子体电阻降低,电抗降低,电容性增强.并对此进行了分析.
- 张发荣张晓丹Amanatides EMalams D赵静赵颖
- 关键词：等离子体
- 一种隐形发色印刷油墨和显色印章印油的制备方法及防伪方法
- 本发明公开了一种隐形发色印刷油墨和显色印章印油的制备方法及防伪方法，其中，油墨包括，醇酸改性树脂、树脂油、分散剂、发色剂和填充料。印油，包括，显色剂、着色剂、醇酸性树脂、多元醇或酯类溶剂、酚类抗氧剂和非离子型表面活性剂。...
- 刘金生裴绍立郑平张发荣赵磊杜金鹏尹争浩鲁涛赵贵彬
- 文献传递
- 一种带有开关的电子护照
- 本实用新型提供一种带有开关的电子护照，包括封皮、护照芯和封底，护照内嵌有相互连通的电子集成电路、射频天线和集成电路中的电子存储芯片，电子集成电路中设有可滑开关，滑动开关由带有金属触点的固定触点和可滑动的带有金属触点的滑动...
- 张发荣余学青何健郑平刘金生裴绍立
- 文献传递
- 大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究被引量：5
- 2008年
- 本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率和尺度的大面积平行板电极,功率馈入连接点位置分布和数量成为影响电极间电势分布均匀性的两个重要可控参量,通过优化功率馈入连接点数量和连接点位置分布,可以抑制电势驻波效应及功率馈入点对数奇点效应,很大程度上有效地改善了电极间电势分布的均匀性。本文数值计算结果在一定程度上为VHF-PECVD技术用平行板电极实现大面积薄膜均匀沉积的系统设计提供了理论指导。
- 葛洪张晓丹岳强张发荣赵影赵颖
- 一种具有变色表盘的仪表
- 本发明提供一种具有超过仪表数控数值会自动使仪表盘变色的仪表，包括仪表壳体、电源、信息传输接口、数据信息控制模块、电子控制装置、电阻温控装置和随温度变化可变色的仪表盘。信息传输接口与数据信息控制模块连接，通过信息传输线传输...
- 刘金生张发荣何健余学青郑平裴绍立
- 文献传递
- 一种血糖测试卡
- 本实用新型提供一种血糖测试卡，包括血糖检测卡基，以及设置在血糖检测卡基上的血液采集片收纳槽、电源、电子显示屏、电子集成控制系统、血液采集片基和输入口，所述的电源、电子显示屏、输入口分别与电子集成控制系统相连接，所述的血液...
- 刘金生张发荣何健余学青郑平裴绍立
- 文献传递
- 一种利用仿金属拉丝做防伪的可折叠香烟盒
- 本实用新型提供一种利用仿金属拉丝做防伪的可折叠香烟盒，包括盒体盖、盒体壁、翻转盖、防伪涂层、开口、方孔、旋转轴、塑料内体、仿金属拉丝层构成；所述盒体盖为椭圆形，盒体盖和盒体壁构成盒体整体，在盒体上胶合仿金属拉丝层，在盒体...
- 余学青张发荣何健裴绍立
- 文献传递
- 1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用被引量：14
- 2007年
- 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达6.3%的高沉积速率微晶硅太阳电池.
- 张晓丹张发荣赵颖陈飞孙建魏长春耿新华熊绍珍
- 一种真空镀铝卡
- 本实用新型提供了一种真空镀铝卡，由卡体构成，所述卡体包括透明薄膜、胶膜层、卡正面印刷层、卡背面印刷层、透明塑料片基、热层压胶层、真空镀铝层和白色塑料片基。卡体以真空镀铝层为中心，一面与白色塑料片基表面固定连接，另一面均匀...
- 张发荣余学清何健郑平赵磊裴绍立
- 文献传递
