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宽光谱椭偏仪在集成电路中的研究与应用: 目前,光谱椭偏测量仪正朝着更小的探测光斑、更短更宽的波段范围方向发展。微光斑适应现代半导体工艺尺寸越来越小的发展要求,对微尺寸结构的测量,可以通过扫描方式来获取其微结构信息,它对集成电路制造过程中的工艺及关键尺寸(CD)...; 宋国志; 关键词：集成电路平面反射镜; 文献传递

利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪被引量：7: 2014年; 光谱椭偏仪是常用的测量薄膜厚度及材料光学性质的仪器，其准确性主要由系统的校准过程确定。提出一种新的利用标准样品校准光谱椭偏仪的方法。该方法通过对多个已知厚度和已知材料特性的薄膜样品进行测量，利用测量得到的多个样品的傅里叶系数光谱与包含未知校准参数的理论光谱之间进行对比，通过最小二乘法拟合，回归求解出整个系统的未知校准参数，包括偏振器方位角，波片延迟，波片方位角和系统入射角等。将该方法的应用领域扩展到2001000nm的宽光谱区域，并通过测量3～13nm的SiO2／Si薄膜样品，实验验证了该方法的有效性，准确性达到0．194nm。该方法相对于传统校准方法更加简单、快速。; 宋国志刘涛谌雅琴李国光王建东; 关键词：校准最小二乘法光学常数

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宋国志