安鹏
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学交通运输工程一般工业技术更多>>
- 仿生声压梯度敏感结构设计及加工方法研究被引量：2
- 2010年
- 对寄生蝇指向性听力的形成原理进行了说明。以寄生蝇相互耦合的两鼓膜为原形,设计了一种仿生的声压梯度敏感结构。推导了平面简谐波作用于敏感结构的转矩与结构尺寸及声压梯度之间的关系。给出了基于SOI硅片的声压梯度敏感结构加工方法。确定了台阶结构光刻、SOI硅片与玻璃阳极键合、湿法去除SOI硅片基底层等关键工艺的相关工艺参数。器件的加工结果表明,具有三维结构的声压梯度敏感结构可以通过体加工工艺来实现。
- 安鹏苑伟政任森
- 关键词：MEMS仿生微细加工
- 基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析
- 2006年
- 对基于惯性传感器的同振球型振速水听器的工作原理进行了说明.采用多端口组件网络方法建立了用于振速水听器的梳齿式硅微机械加速度计的系统级模型.对内置加速度计,外部采用弹性连接的振速水听器在平面声波作用下的响应进行了仿真分析.分析结果表明,振速水听器不失真测量的工作带宽取决于其与水介质的密度比、波尺寸、与弹性连接构成振动系统以及加速度计自身振动系统的特性参数.多端口组件网络方法能够有效地实现振速水听器的建模与仿真.
- 安鹏苑伟政张承亮
- 关键词：微机电系统加速度计
- 基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析
- 本文对基于惯性传感器的同振球型振速水听器的工作原理进行了说明.采用多端口组件网络方法建立了用于振速水听器的梳齿式硅微机械加速度计的系统级模型.对内置加速度计,外部采用弹性连接的振速水听器在平面声波作用下的响应进行了仿真分...
- 安鹏苑伟政张承亮
- 关键词：微机电系统加速度计
- 文献传递
- 基于工作流的企业业务过程自动化关键技术研究
- 工作流技术是实现企业业务过程建模、业务过程仿真分析、业务过程优化、业务过程管理与集成,从而最终实现业务过程自动化的核心技术.研究和推广工作流技术对于促进制造业信息化具有重要的现实意义.工作流与数据管理技术的结合为业务过程...
- 安鹏
- 关键词：工作流群件
- 文献传递
- 基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真被引量：2
- 2007年
- 基于一维集中参数模型建立了微细加工电容式传声器振膜的动力学控制方程,并确定了方程中各参数的表达式。根据控制方程,在Saber平台上采用硬件描述语言开发了参数化组件。将该组件与传声器的检测电路模型结合起来实现了传声器的系统级建模,进行了时域、频域仿真,以及不同偏置电压下的输出电容、静电拉入电压的计算。将仿真结果与文献实测数据以及有限元分析结果相比较,验证了该组件的有效性。
- 安鹏苑伟政张承亮
- 关键词：MEMS电容式传声器
