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史梦然

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国电子科技集团第十一研究所更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电学
  • 2篇电学特性
  • 2篇金属薄膜
  • 2篇化合物半导体
  • 2篇共晶
  • 2篇半导体
  • 2篇层状结构
  • 2篇衬底
  • 2篇衬底材料

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇曹雪峰
  • 2篇孙浩
  • 2篇赵建忠
  • 2篇史梦然

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种化合物半导体的金属化结构
本发明公开了一种化合物半导体的金属化结构,包括:化合物半导体衬底,以及自衬底向上依次制备的第一层金属薄膜、第二层金属薄膜、第三层金属薄膜和电极层金属薄膜,形成金属化层状结构;其中,各层金属薄膜的厚度均小于1μm,且各层金...
史梦然赵建忠曹雪峰孙浩
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一种化合物半导体的金属化结构
本实用新型公开了一种化合物半导体的金属化结构,包括:化合物半导体衬底,以及衬底向上依次制备的第一层金属薄膜、第二层金属薄膜、第三层金属薄膜和电极层金属薄膜,形成金属化层状结构;其中,各层金属薄膜的厚度均小于1μm,且各层...
史梦然赵建忠曹雪峰孙浩
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共1页<1>
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