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文献类型

  • 10篇中文专利

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 9篇探测器
  • 9篇红外
  • 6篇红外探测
  • 6篇红外探测器
  • 4篇预设
  • 4篇基板
  • 4篇光刻
  • 4篇光刻胶
  • 3篇电路
  • 3篇读出电路
  • 3篇焦平面
  • 3篇焦平面探测器
  • 3篇红外焦平面
  • 3篇红外焦平面探...
  • 2篇低阻
  • 2篇电极
  • 2篇探测器阵列
  • 2篇凸点
  • 2篇凝视
  • 2篇凝视型

机构

  • 10篇中国电子科技...

作者

  • 10篇刘明
  • 7篇张敏
  • 5篇宁提
  • 3篇谢珩
  • 2篇诸子玲
  • 2篇张鹏
  • 2篇韦书领
  • 2篇钱亚男
  • 2篇谭振
  • 1篇沈悦
  • 1篇王成刚
  • 1篇朱西安
  • 1篇梁宗久

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2010
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的读出电路
本发明公开了一种红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的红外探测器读出电路,本发明通过在读出电路上涂覆光刻胶,并在读出电路的预设位置制备铟凸点,再去除光刻胶上的铟层,然后在铟凸点上重复镀铟、去除光刻胶上的铟层,直到得到预...
谢珩刘明张敏宁提张鹏谭振
一种增强红外焦平面探测器与读出电路铟柱电学连接的方法
本发明提供一种增强红外焦平面探测器与读出电路铟柱电学连接的方法,其中,包括下列步骤:步骤A:在制备好的生长完铟柱的探测器芯片侧进行光刻;步骤B:利用离子铣设备在铟柱上生长金薄膜;步骤C:将探测器上的光刻胶去除干净;步骤D...
沈悦谢珩刘明王成刚朱西安
文献传递
超大规模凝视型红外探测器拼接基板及其制备方法
本发明公开了一种超大规模凝视型红外探测器拼接基板,包括:标准硅片、钝化膜层以及低阻金属层,其中,低阻金属层具体包括:对低阻金属层进行刻蚀形成的高精度拼接标记、导流结构以及一对低阻金属引线;钝化膜层设置于标准硅片上表面,一...
张敏亢喆韦书领刘明杨刚
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一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法
本发明公开了一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法,本发明所述方法能够有效对预设碲镉汞芯片的电极沉积损伤进行表征,从而优化电极生长条件,减少电极沉积损伤,最终提高了碲镉汞红外探测器的性能。
何斌刘明宁提祁娇娇陈书真
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一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法
本发明公开了一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法,本发明所述方法能够有效对预设碲镉汞芯片的电极沉积损伤进行表征,从而优化电极生长条件,减少电极沉积损伤,最终提高了碲镉汞红外探测器的性能。
何斌刘明宁提祁娇娇陈书真
一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法,方法包括:将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积,再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶,在将光刻胶加热固化后,采用光刻对准工艺对基板进行曝光,使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏刘明钱亚男诸子玲
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一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法,方法包括:将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积,再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶,在将光刻胶加热固化后,采用光刻对准工艺对基板进行曝光,使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏刘明钱亚男诸子玲
红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的读出电路
本发明公开了一种红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的红外探测器读出电路,本发明通过在读出电路上涂覆光刻胶,并在读出电路的预设位置制备铟凸点,再去除光刻胶上的铟层,然后在铟凸点上重复镀铟、去除光刻胶上的铟层,直到得到预...
谢珩刘明张敏宁提张鹏谭振
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超大规模凝视型红外探测器拼接基板及其制备方法
本发明公开了一种超大规模凝视型红外探测器拼接基板,包括:标准硅片、钝化膜层以及低阻金属层,其中,低阻金属层具体包括:对低阻金属层进行刻蚀形成的高精度拼接标记、导流结构以及一对低阻金属引线;钝化膜层设置于标准硅片上表面,一...
张敏亢喆韦书领刘明杨刚
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用于形成金属光栅的复合金属层及相关器件
本发明公开了一种用于形成金属光栅的复合金属层包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层为铬层或铝层;所述第二金属层为铬层或金层;所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。利用本发明中的金属复合层形成的金属光栅,能够抗氧化...
林国画刘明张敏宁提梁宗久
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共1页<1>
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