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刘明
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供职机构:
中国电子科技集团第十一研究所
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相关领域:
电子电信
文化科学
交通运输工程
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合作作者
张敏
中国电子科技集团第十一研究所
宁提
中国电子科技集团第十一研究所
谢珩
中国电子科技集团第十一研究所
谭振
中国电子科技集团第十一研究所
钱亚男
中国电子科技集团第十一研究所
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刘明
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红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的读出电路
本发明公开了一种红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的红外探测器读出电路,本发明通过在读出电路上涂覆光刻胶,并在读出电路的预设位置制备铟凸点,再去除光刻胶上的铟层,然后在铟凸点上重复镀铟、去除光刻胶上的铟层,直到得到预...
谢珩
刘明
张敏
宁提
张鹏
谭振
一种增强红外焦平面探测器与读出电路铟柱电学连接的方法
本发明提供一种增强红外焦平面探测器与读出电路铟柱电学连接的方法,其中,包括下列步骤:步骤A:在制备好的生长完铟柱的探测器芯片侧进行光刻;步骤B:利用离子铣设备在铟柱上生长金薄膜;步骤C:将探测器上的光刻胶去除干净;步骤D...
沈悦
谢珩
刘明
王成刚
朱西安
文献传递
超大规模凝视型红外探测器拼接基板及其制备方法
本发明公开了一种超大规模凝视型红外探测器拼接基板,包括:标准硅片、钝化膜层以及低阻金属层,其中,低阻金属层具体包括:对低阻金属层进行刻蚀形成的高精度拼接标记、导流结构以及一对低阻金属引线;钝化膜层设置于标准硅片上表面,一...
张敏
亢喆
韦书领
刘明
杨刚
文献传递
一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法
本发明公开了一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法,本发明所述方法能够有效对预设碲镉汞芯片的电极沉积损伤进行表征,从而优化电极生长条件,减少电极沉积损伤,最终提高了碲镉汞红外探测器的性能。
何斌
刘明
宁提
祁娇娇
陈书真
文献传递
一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法
本发明公开了一种表征碲镉汞红外探测器电极沉积损伤的方法,本发明所述方法能够有效对预设碲镉汞芯片的电极沉积损伤进行表征,从而优化电极生长条件,减少电极沉积损伤,最终提高了碲镉汞红外探测器的性能。
何斌
刘明
宁提
祁娇娇
陈书真
一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法,方法包括:将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积,再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶,在将光刻胶加热固化后,采用光刻对准工艺对基板进行曝光,使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏
刘明
钱亚男
诸子玲
文献传递
一种红外焦平面探测器基板及其制造方法
本发明提供的红外焦平面探测器基板及其制造方法,方法包括:将预定尺寸的基板以预定溅射方式进行金属沉积,再以预设涂胶方法在基板表面涂光刻胶,在将光刻胶加热固化后,采用光刻对准工艺对基板进行曝光,使基板上需要进行刻蚀的金属部分...
张敏
刘明
钱亚男
诸子玲
红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的读出电路
本发明公开了一种红外探测器读出电路铟凸点制备方法及制得的红外探测器读出电路,本发明通过在读出电路上涂覆光刻胶,并在读出电路的预设位置制备铟凸点,再去除光刻胶上的铟层,然后在铟凸点上重复镀铟、去除光刻胶上的铟层,直到得到预...
谢珩
刘明
张敏
宁提
张鹏
谭振
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超大规模凝视型红外探测器拼接基板及其制备方法
本发明公开了一种超大规模凝视型红外探测器拼接基板,包括:标准硅片、钝化膜层以及低阻金属层,其中,低阻金属层具体包括:对低阻金属层进行刻蚀形成的高精度拼接标记、导流结构以及一对低阻金属引线;钝化膜层设置于标准硅片上表面,一...
张敏
亢喆
韦书领
刘明
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用于形成金属光栅的复合金属层及相关器件
本发明公开了一种用于形成金属光栅的复合金属层包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层为铬层或铝层;所述第二金属层为铬层或金层;所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。利用本发明中的金属复合层形成的金属光栅,能够抗氧化...
林国画
刘明
张敏
宁提
梁宗久
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