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凌云
作品数:
38
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
中国博士后科学基金
江苏省高校自然科学研究项目
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相关领域:
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合作作者
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
龚岳峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
封松林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李宜瑾
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘波
中国科学院上海微系统与信息技术...
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可抑制选通二极管之间串扰电流的相变存储器及制备方法
本发明微电子技术领域,公开了可抑制选通二极管之间串扰电流的相变存储器的制备方法,其主要特征在于,在P型半导体衬底上形成重掺杂的N型半导体,在重掺杂的N型半导体上方形成一个本征半导体;对本征半导体有间隔的进行刻蚀形成多个位...
李宜瑾
宋志棠
凌云
张超
文献传递
Sb_2S_3纳米棒的制备及其性能研究
被引量:1
2009年
以SbCl3和Na2S2O3为反应物,用水热合成法成功的制备了直径约100-500nm,长为几十微米的单晶纳米棒。产物的能量分散光谱(EDS)、X-射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)分析显示纳米棒是锑和硫原子比为2∶3的化合物,属正交晶系,晶体沿[001]方向生长。差热分析(DSC)显示Sb2S3纳米棒在548.9℃处有吸热峰,此外,吸收光谱表明产物的禁带宽度为1.58eV,适用于太阳能和光电应用领域。
李志华
凌云
姜文娟
程晓农
关键词:
水热合成
纳米棒
正交晶系
使用复合结构二极管的相变存储器单元及制备方法
本发明属于微电子技术领域,公开了一种使用复合结构二极管的相变存储器单元及制备方法。所述相变存储器单元由复合结构二极管与存储单元构成。其基本特征在于:使用了复合结构的二极管作为相变存储器的选通二极管,此二极管由四层不同特性...
李宜瑾
凌云
宋志棠
封松林
文献传递
相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法
一种相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法,所述制备方法包括:在P型半导体衬底表面进行离子注入,退火生成重掺杂的N型半导体层;在重掺杂的N型半导体层的表面进行外延生长,形成本征半导体层;进行刻蚀工艺以形成用于隔离字线的第...
李宜瑾
宋志棠
凌云
刘燕
刘波
龚岳峰
张超
吴关平
杨左娅
文献传递
相变存储单元器件的复合电极结构
本发明涉及一种相变存储单元器件结构。其特点在于:1.相变存储单元下方有一个面积较小的加热电极和一个或多个面积较大的引流电极;2.可逆相变区域被严格控制在较小的电极周围;3.可逆相变区域外的相变材料处于结晶与稳定状态,呈现...
宋志棠
丁晟
刘波
凌云
陈小刚
蔡道林
封松林
文献传递
稳定阈值电压的低功耗相变存储器及其制造方法
本发明涉及一种稳定阈值电压的低功耗的相变存储器及其制造方法,该相变存储器包括:上电极、下电极、位于上、下电极之间的相变材料层以及与所述相变材料层接触的保温层;所述相变材料层的厚度大于3nm,并且小于等于d,d为擦操作时在...
龚岳峰
宋志棠
凌云
张挺
刘波
李宜瑾
文献传递
一种管状相变存储器单元结构及制作方法
本发明涉及一种管状相变存储器单元结构及制作方法,所述的相变存储器单元结构包括上电极、下电极以及存储部分。单元结构的基本特征是:相变材料分布在孔的侧壁,利用孔中相变材料的截面积小电阻大,在读写操作中通过自身发热完成相变,同...
凌云
宋志棠
封松林
文献传递
多态相变存储器单元器件及制备方法
本发明提供的电阻变化显著的多态相变存储器单元器件及其制备方法,包括:下电极层;处于下电极层表面且为导电材料的加热电极层;处于加热电极层表面的组合层,组合层包括自层表面向层内扩散成第一锥状和自第一锥状锥底部处继续向层内收缩...
宋志棠
凌云
龚岳峰
刘波
封松林
文献传递
用于相变存储器的Si-Sb-Se相变薄膜材料
本发明揭示了一种用于相变存储器的Si-Sb-Se相变薄膜材料,其组分为Si<Sub>c</Sub>Sb<Sub>a</Sub>Se<Sub>b</Sub>,其中,48≤b≤60,20≤ a≤40,8≤c≤40,a+b+c...
凌云
龚岳峰
宋志棠
封松林
文献传递
基于ZnO肖特基二极管的相变随机存储器阵列及制作方法
本发明公开了一种基于ZnO肖特基二极管的相变随机存储器阵列及其制作方法。其结构包括:半导体衬底;位于半导体衬底上的绝缘缓冲层;位于绝缘缓冲层上的多条字线;电连接于字线的多个ZnO肖特基二极管,分别位于每个ZnO肖特基二极...
刘燕
宋志棠
凌云
龚岳峰
李宜谨
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