陈庆华
- 作品数：24 被引量：4H指数：2
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家技术创新计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术建筑科学电气工程更多>>
- 可变刚度梁及其制备方法、致动方法
- 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应...
- 吴文刚张海霞陈庆华杜博超贾鲲鹏夏雨郝一龙
- 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文)被引量：2
- 2006年
- 为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜.提出的硅微机械扭转微镜将垂直扭转梳齿静电驱动结构、侧壁平行板电容静电驱动结构有机结合,实现了两种静电驱动方式的复合驱动,同时设计了内外双镜面结构,通过内外双镜面结构,实现了微镜的差动复合驱动,理论分析、模拟仿真与测试结果表明,通过上述两个方面新颖的设计,新结构显著降低了器件的驱动电压.同时为了提高器件的工作可靠性,在设计折叠梁柔性支撑结构时,将梁的不同位置设计成不同的厚度,对于硅微机械扭转微镜扭转过程中容易疲劳的梁部分加大了其厚度,从而在不影响器件扭转性能的前提下,明显提高了器件的可靠性.利用有限元方法对器件的力学特性和机电耦合特性进行了系统的仿真,获得了影响器件机电特性的关键结构参数.器件基于SOI晶片,采用表面硅工艺与体硅工艺相结合的方式加工制造,采用SOI晶片显著降低了微镜镜面的表面粗糙度,提高了其光反射能力.最后利用原子力显微镜对微镜镜面的表面粗糙度进行了测量和分析,实验结果表面微镜表面具有16nm的表面粗糙度,完全可以满足光学应用的需要.
- 栗大超吴文刚袁勇陈庆华郝一龙胡小唐
- 关键词：MEMSSOI复合驱动表面粗糙度
- 静电振镜及其制作方法
- 本发明涉及一种静电振镜及其制作方法，该静电振镜由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，衬底至少表面绝缘；驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点、导线，驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜中心线为对称线设置于中心线...
- 陈庆华吴文刚杜博超贾鲲鹏张海霞夏雨郝一龙
- 一种微型光学器件及其制备方法
- 本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定...
- 陈庆华吴文刚王子千闫桂珍郝一龙王阳元
- 文献传递
- 聚光透镜阵列器件及其制备方法
- 本发明涉及一种聚光透镜阵列器件及其制备方法，该器件包括：基体、以及光纤，所述基体的一面设置有若干用于放置所述光纤的光纤槽，所述基体还设置有沿所述光纤槽分布的若干透光通孔。本发明的聚光透镜阵列器件及其制备方法适用于中、大规...
- 陈庆华
- 文献传递
- 可变刚度梁及其制备方法、致动方法
- 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应...
- 吴文刚张海霞陈庆华杜博超贾鲲鹏夏雨郝一龙
- 文献传递
- 复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文)
- 2005年
- 报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜,其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成.实验表明,该新型驱动结构不仅能使微镜实现大范围连续旋转,而且能使微镜实现吸合效应致自发性90°旋转.微镜的连续旋转范围扩大到约46°,同时引发吸合效应的拐点电压也增大.对于具有1和0.5μm厚扭转弹性梁的微镜,实测拐点电压分别为390～410V和140～160V.当该微镜用作光开关时,测得光插入损耗为-1.98dB.
- 吴文刚陈庆华尹冬青闫桂珍陈章渊郝一龙徐安士
- 一种微型多功能光学器件及其制备方法
- 本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块...
- 吴文刚陈庆华王子千邹积彬闫桂珍郝一龙王阳元
- 文献传递
- 一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法
- 本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板...
- 吴文刚陈庆华王子千闫桂珍郝一龙王阳元
- 文献传递
- 静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法
- 本发明涉及一种静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法，该静电致动器包括：固定电极，为固定连接于衬底上的引线电极的平板电极；第一可动电极，为设置于距所述衬底设定高度的平板电极；第二可动电极，为矩形框平板电极，设置于所述第一...
- 陈庆华吴文刚杜博超贾鲲鹏张海霞夏雨郝一龙
- 文献传递
