郭卿超
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征被引量：1
- 2011年
- 在大气压条件下Ar气流中实现了容性射频放电α和γ两种模式及其转变与共存.由于放电处于开放大气环境中,放电发射光谱中清晰地存在N2C3Πu→Β3Πg跃迁产生的第二正带和OH自由基Α2Σ→Χ2Π跃迁的(0,0)带光谱.为了获得放电区域的宏观温度,针对氮的第二正带(0,1),(1,2)两个谱带,自编了拟合程序,用温度拟合方法获得了氮分子的转动温度和振动温度,研究了转动温度随放电功率的变化趋势,得到了温度突变与放电模式转变的相关性.利用Lifbase的发射光谱模拟功能,进行了OH自由基Α2Σ→Χ2Π(0,0)带光谱的模拟,通过与实验光谱对比,得到了与N2光谱拟合结果相符的OH转动温度,以及相似的随放电功率的变化趋势,这说明放电空间内的中性物种达到了热平衡状态.根据放电伏安特性变化,放电模式转变对应的转动温度变化趋势得到确认,并且与放电形态的照片符合.
- 郭卿超张家良刘莉莹王德真
- 关键词：放电模式转动温度
- 大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断被引量：3
- 2010年
- 本文采用发射光谱法诊断了大气压下Ar气、SiCl4及H2气混合气体(Ar/SiCl4/H2)射频放电等离子体射流特性.利用Si原子谱线强度计算了电子激发温度并以此估算了Si原子数密度,研究了射频功率及气体流量对电子激发温度和Si原子数密度以及SiCl4解离率的作用.
- 刘莉莹张家良郭卿超王德真
- 关键词：发射光谱电子激发温度
- 开放氩等离子体的射频容性放电模式及诊断
- 本文探索了一种平板式小孔电极的放电装置,采用电学测量,光学诊断等方法对射频容性氩等离子体进行了研究。 在一定的条件下,特别放电气压条件适当时,两种放电模式可以共存,其物理原因是两种放电模式的维持电压在不同气压下...
- 郭卿超
- 关键词：放电模式转动温度激发温度
- 文献传递
- 大气压下石英毛细管内氩等离子体放电的发射光谱诊断
- 2010年
- 在长度为20cm的石英毛细管内利用两个边缘锋利的中空的针型电极之间的氩气放电产生了高电子密度的大气压等离子体。利用发射光谱对所获得的等离子体的几个重要参数进行了诊断。利用计算机谱线拟合法合成了300nm附近OH(A-X)的(0-0)转动谱带并通过与测量谱线的比较确定了等离子体的气体温度,根据Hβ谱线Stark展宽法计算了等离子体的电子密度,采用玻尔兹曼曲线斜率法依据测得的有关氩的发射光谱估算了等离子体的电子温度。研究结果表明,这种石英毛细管内弧光放电等离子体的气体温度约为(1100±50)K;电子密度数量级在1014cm-3;电子温度约为(14515±500)K。
- 黄文同李寿哲郭卿超张家良王德真马腾才
- 关键词：转动温度电子密度电子温度
