谢芳
- 作品数：64 被引量：105H指数：7
- 供职机构：北京交通大学更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程经济管理更多>>
- 一种单波光纤激光自混合干涉测量方法
- 本发明公开了一种单波光纤激光自混合干涉测量方法，属于光学测量技术领域。所述方法由泵浦光源，一个波分复用器，一段掺铒光纤，一个光纤光栅，二个光纤耦合器，一个光纤环行器，一个FC/PC接头，一个探测器，二个移频器，一个出射头...
- 谢芳许珩潇
- 文献传递
- 一种可调谐拍波线扫描的表面三维干涉测量系统
- 本发明公开了一种可调谐拍波线扫描的大量程高分辨率表面三维干涉测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、两个光纤隔离器、三个光阑、三个自准直镜、两个衍射光栅、七个平柱透镜、两个线阵光电耦合器、3dB-耦合器、分光...
- 谢芳马森刘义秦李昭莹
- 基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究被引量：2
- 2014年
- 提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统。利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长。利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量。本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1mm,测量分辨率小于1nm。
- 马森谢芳王韵致陈亮
- 关键词：光纤测量
- 高稳定的光纤3×3耦合器干涉位移测量系统被引量：13
- 2010年
- 利用光纤3×3耦合器和光纤光栅(FBG),构成能有效补偿环境干扰的光纤干涉位移测量系统。测量系统含干涉臂几乎重合的两个光纤迈克尔逊干涉仪,其中一个通过反馈环节补偿环境干扰的影响,实现对测量系统的稳定,使系统适合于在线测量;另一个用于完成测量工作。利用零差干涉相位测量技术对位移进行测量,测量结果的线性相关系数达0.999。
- 李敏谢芳陈志敏
- 关键词：光纤反馈控制
- 基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统的研究被引量：7
- 2015年
- 提出一种基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统。由宽带光源发出的光通过光纤迈克耳孙干涉仪获取被测量信息,色散光栅将宽谱干涉光束色散成波长在空间连续分布的光片,由线阵CCD探测。将线阵CCD的各个像元探测到的各个波长干涉信号转换成对应的波数干涉信号。对于波数干涉信号,相邻两个干涉信号峰值之间的波数变化量与干涉仪光程差的绝对值呈正比。因此,利用此测量系统可实现对台阶高度等物理量的绝对测量。利用缩短测量系统中光纤迈克耳孙干涉仪的两个干涉臂的长度减小环境干扰对测量系统的影响,获得高测量精度。本测量系统的测量分辨率为6.03 nm。对一个高度为50μm的台阶重复10次测量,测量结果的标准差为6.8 nm。
- 赵可强谢芳马森王韵致陈亮
- 一种三波光纤激光自混合干涉测量系统
- 本发明公开了一种三波光纤激光自混合干涉测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由泵浦光源，五个光纤耦合器，三个波分复用器，三段掺铒光纤，七个光纤环行器，七个光纤光栅，一个FC/PC接头，三个探测器，二个移频器，一个出射头...
- 谢芳王韵致
- 文献传递
- 一种基于光纤复合干涉的高精度绝对位移测量系统
- 本发明公开了一种基于光纤复合干涉的高精度绝对位移测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、3dB-耦合器、二个自准直镜、光纤光栅、二个反射镜、两个探测器、环行器、一维平移台、压电陶瓷、反馈控制电路、...
- 谢芳刘义秦马森李昭莹
- 利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统
- 本发明公开了一种利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性构成复合光纤干涉仪，该干涉仪含二个光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪用于稳定系统，经反馈控制补偿...
- 谢芳张琳
- 文献传递
- 利用光纤光栅及波分复用技术的台阶高度在线测量系统
- 本发明公开了一种利用光纤光栅及波分复用技术的台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性和波分复用技术构成光纤复合干涉仪，该干涉仪含二个反射镜独立光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪...
- 谢芳张琳
- 文献传递
- 一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统
- 本发明公开了一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统，属于光学测量领域。所述系统由宽带光源，隔离器，光纤及光纤接头，柱面及球面透镜，光阑，光栅，一维振幅型光瞳滤波器，分光镜，反射镜，法布里-珀罗滤波器...
- 谢芳王韵致马森赵可强董连连
- 文献传递
