范新丽
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 金刚石多线切割在半导体行业中的应用
- 2013年
- 良好的切割方法对半导体材料的品质有非常关键的作用。多线切割技术是目前世界上最先进的切片加工技术,工作效率高,一次加工可以切割多片,并且可以达到一定的薄度。针对此,主要介绍了金刚石多线切割设备的结构,工艺流程和关键技术。
- 范新丽杨杰
- 关键词：金刚石半导体
- 工业机器人在硅片传输中的设计及应用被引量：3
- 2013年
- 本文介绍了工业机器人的原理及其在光伏行业中的应用,以六轴机器人在石英舟装片设备的设计为例,阐述六轴机器人根据设备的工艺流程进行的硬件和软件设计。
- 王莉范新丽
- 关键词：六轴机器人软件设计
- 在线等离子清洗在IC封装行业中的应用
- 2013年
- 集成电路封装工艺中,芯片表面的氧化物等污染物会降低产品质量。在封装工艺过程中,引线键合工艺之前对引线框架进行等离子清洗,可以有效清除这些杂质,提高产品成品率和质量。针对此,主要介绍了在线等离子清洗设备的工艺,结构和市场前景。
- 杨杰范新丽
- 关键词：等离子清洗引线框架集成电路封装
- 机器人在光伏扩散工序上下料中的应用被引量：4
- 2013年
- 通过分析光伏生产线上下料的现状,指出扩散工序上下料的难度,以及扩散工序上下料的必要性。本文主要介绍了扩散工序上下料设备的主要结构设计,包括篮具校正系统、机器人吸取片系统、硅片校正系统、石英舟系统组成、电气控制系统等,并分析了关键技术及解决方法。
- 苗泽志范新丽戎有兰
- 关键词：光伏扩散
