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舒光华

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电感
  • 2篇电感值
  • 2篇电路集成
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微系统
  • 2篇机电系统
  • 2篇半金属
  • 2篇衬底
  • 2篇电系统

机构

  • 2篇北京交通大学

作者

  • 2篇邵际南
  • 2篇李修函
  • 2篇舒光华

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种微机电系统螺线管电感的制备方法
本发明公开了一种微机电系统螺线管电感的制备方法，利用MEMS工艺在下衬底上刻蚀出一个槽，然后进行涂胶光刻、电镀或化学镀在下衬底的槽内生长出金属线圈的一半，利用相同的方法在上衬底上的制作出金属线圈的另一半，最后将两半金属线...
李修函邵际南舒光华
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一种微机电系统螺线管电感的制备方法
本发明公开了一种微机电系统螺线管电感的制备方法，利用MEMS工艺在下衬底上刻蚀出一个槽，然后进行涂胶光刻、电镀或化学镀在下衬底的槽内生长出金属线圈的一半，利用相同的方法在上衬底上的制作出金属线圈的另一半，最后将两半金属线...
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