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王萍
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李学文
中国电子科技集团公司第四十八研...
廖佐昇
中国电子科技集团公司第四十八研...
杨基南
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1篇
2003
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一种电子零位记忆装置
本实用新型提出一种电子零位记忆装置,由零位机构和数据采集处理系统组成;零位机构包括基座、径向调节轴、多向可调筒、动刻度盘和静刻度盘;基座具有中心轴向通孔;径向调节轴安装在基座中心轴向通孔内,通过键槽与基座配合;径向调节轴...
王萍
张乐
毛南平
文献传递
液态源化学气相淀积制备SiO_2薄膜的设备研制
被引量:1
2003年
采用液态有机硅源的等离子体增强化学气相淀积设备是通向深亚微米时代的桥梁。介绍研制的液态源化学气相淀积设备的工作原理、结构特点和工艺结果,制备的SiO2薄膜膜厚均匀性±2%,折射率1.452±0.014,生长速率40nm?min。
廖佐昇
范迎新
任伟
王萍
李学文
杨基南
关键词:
等离子体
化学气相沉积
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