王曦雯
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
- 发文基金：安徽省自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- SiO2/TiO2/基片减反膜系的制备研究
- 现代光学工程中,光学薄膜具有重要地位,可以说,没有光学薄膜,就没有当今许多复杂的、高性能的光学仪器、光电子器件以及各种光电系统,减反射薄膜又是光学薄膜中最重要的一种。本论文在对减反射薄膜设计及优化的基础上重点研究了其制备...
- 王曦雯
- 关键词：优化设计磁控溅射膜系设计
- 文献传递
- SiO_2/TiO_2减反膜系的制备和性能测试被引量：4
- 2012年
- 由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625nm波段具有明显的增透效果,在520nm处有98%的透过率。
- 王曦雯何晓雄胡佳宝
- 关键词：磁控溅射
