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王晓琳

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇开环
  • 1篇开环控制
  • 1篇光栅
  • 1篇光栅干涉仪
  • 1篇干涉仪

机构

  • 1篇北京理工大学
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇张宇华
  • 1篇王晓琳

传媒

  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统被引量：3
1999年
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
王晓琳杨厚民郭杜张宇华
关键词：开环控制光栅干涉仪
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共1页<1>
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