王启佳
- 作品数：6 被引量：6H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术更多>>
- 聚合物光刻胶超声时效机理与实验研究
- 高聚物SU-8光刻胶是一种基于EPON SU-8环氧树脂的负性、近紫外光刻胶。它具有优良的物理、机械以及抗化学腐蚀等性能,因此SU-8光刻胶已经成为制作高深宽比MEMS器件的一种理想材料。然而,SU-8胶层中内应力的存在...
- 王启佳
- 关键词：SU-8光刻胶内应力正交实验BP神经网络
- 文献传递
- 聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究被引量：5
- 2010年
- 利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的内应力值.实验结果显示,在超声时效10min时,聚合物SU-8胶内应力减小2MPa,消除率约为23.17%.这表明,在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效减小聚合物SU-8胶内应力.
- 杜立群王煜王启佳陈莉
- 关键词：SU-8光刻胶
- 一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法
- 本发明是一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法，属于微制造技术领域，特别涉及提高微电铸器件尺寸精度的方法。微电铸器件的制作工艺包括镍基板前处理、微电铸胶模的制作以及微电铸工序。在制作微电铸胶模的过程中，甩胶、前烘、光刻...
- 杜立群张本状王启佳刘冲徐征刘军山
- 一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法
- 本发明是一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法，属于微制造技术领域，特别涉及提高微电铸器件尺寸精度的方法。微电铸器件的制作工艺包括镍基板前处理、微电铸胶模的制作以及微电铸工序。在制作微电铸胶模的过程中，甩胶、前烘、光刻...
- 杜立群张本状王启佳刘冲徐征刘军山
- 文献传递
- 微电铸层内应力超声去除实验(英文)
- 2010年
- 针对Ni微电铸层中内应力过大的问题,提出用超声时效技术去除铸层内应力的方法.利用自行研制的超声设备对铸层内应力进行去除,借助X射线衍射仪和应力测量公式求得超声前后的内应力大小,并对实验结果进行对比.结果显示,铸层内应力在50min时去除最为明显,平均应力由-209.0MPa减小到-109.0MPa,减小了100MPa,消除率达到47.9%.可知在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效地减小和消除电铸层的内应力.超声时效去应力效果与热处理效果相当,能够满足微器件的使用要求,具有一定的实用价值.
- 杜立群宋磊王启佳刘冲
- 关键词：内应力X射线衍射
- 超声处理减小SU-8胶层内应力的研究被引量：1
- 2011年
- 目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参数的优化和掩模板的设计上,而且无法推广使用.本文旨在利用超声时效技术减小SU-8胶层中的内应力.讨论了利用超声时效技术减小SU-8胶层中内应力的机理.以改进的Stoney公式为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小SU-8胶层中内应力方面的作用.讨论了工作台振幅、输入功率和时效时间等重要参数对超声时效效果的影响,并且对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层中的内应力值.研究结果表明,选择合适的实验参数,超声时效技术可以有效地减小SU-8胶层中的内应力,该技术在非金属应力去除方面具有一定的实用价值.
- 杜立群王启佳张晓蕾
- 关键词：SU-8光刻胶内应力
