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王兴华

作品数：20 被引量：2H指数：1
供职机构：国防科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信

主题

  • 8篇陀螺
  • 7篇加速度
  • 7篇加速度计
  • 6篇电极
  • 6篇微机械陀螺
  • 5篇单片
  • 5篇信号
  • 5篇微机械
  • 4篇电容
  • 4篇提升方法
  • 4篇漂移
  • 4篇微机械传感器
  • 4篇微机械加速度...
  • 4篇温度漂移
  • 4篇金属
  • 4篇金属电极
  • 4篇激光
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器

机构

  • 20篇国防科学技术...

作者

  • 20篇王兴华
  • 19篇侯占强
  • 19篇肖定邦
  • 19篇吴学忠
  • 16篇陈志华
  • 12篇李文印
  • 6篇苏剑彬
  • 6篇吴宇列
  • 6篇李青松
  • 5篇张旭
  • 4篇刘学
  • 4篇何汉辉
  • 4篇贺琨
  • 4篇徐强
  • 2篇胡小平
  • 2篇胡松奇
  • 2篇崔红娟
  • 2篇张浩
  • 2篇李圣怡
  • 2篇曹世杰

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 5篇2017
  • 2篇2016
  • 7篇2015
  • 3篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺
本发明公开了一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，包括上玻璃盖板、下玻璃盖板及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构，硅敏感结构布置于上玻璃盖板、下玻璃盖板之间，硅敏感结构的应力释放框架的中部设有主梁，主梁上设有偶数组质量块...
肖定邦吴学忠李圣怡侯占强陈志华李文印王兴华胡启俊徐强
一种减少振动式硅微陀螺模态耦合误差的激光修形方法
本发明公开了一种减少振动式硅微陀螺模态耦合误差的激光修形方法，其步骤为：（1）信号测试：测试硅微陀螺芯片的驱动信号<I>V</I><Sub><I>d</I></Sub>和模态耦合误差信号<I>V</I><Sub><I>m...
吴学忠肖定邦陈志华贺琨侯占强胡松奇王兴华刘学
用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置
本发明公开了一种用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：根据微机械陀螺输出的电压信号生成与微机械陀螺的驱动模态固有频率相同且与驱动微机械陀螺的交流驱动电压同相的低频信号，将所述低频信号作为直流偏置电压加载...
吴学忠陈志华肖定邦侯占强何汉辉李文印王兴华
文献传递
单晶硅等效机械特性的实验研究(英文)被引量：1
2012年
单晶硅广泛应用于MEMS器件中。根据等效刚度原理,单晶硅可以简化为各向同性材料。介绍了一种采用湿法腐蚀工艺加工的倾斜硅梁,并利用频率响应特性测试了其等效杨氏模量和等效泊松比。采用(100)硅片制作了八组不同尺寸参数的倾斜硅梁。梁的宽度尺寸间隔为30μm,尺寸范围为30μm～240μm,对应宽高比为1/8～1。实验结果证明了等效杨氏模量与倾斜梁尺寸无关,而等效泊松比不仅和单晶硅的特性相关,而且受倾斜梁尺寸的影响。实验得到的等效杨氏模量为170.51 GPa±2.08 GPa。对等效泊松比的测量结果在Matlab中进行了多项式拟合,7次拟合多项式已经与测试结果具有很好的一致性。
张旭李浩肖定邦侯占强王兴华吴学忠
关键词：单晶硅
一种单片双轴蝶翼式微机械加速度计
本发明公开了一种单片双轴蝶翼式微机械加速度计，包括敏感硅结构和玻璃基板，所述敏感硅结构设有四件作为活动电容板的敏感质量块，所述玻璃基板上设有与所述四个敏感质量块一一对应且相对设置的固定电容板，所述敏感硅结构与玻璃基板键合...
肖定邦陈志华吴学忠侯占强李青松曹世杰王兴华刘高李文印吴宇列
文献传递
一种单片三轴微机械加速度计
本发明公开了一种单片三轴微机械加速度计，包括键合连接为一体的上盖、下盖以及多个带有活动电容极板的敏感质量块组件，所述多个敏感质量块组件呈中心中心对称结构布置于上盖和下盖之间，所述上盖和下盖上均设有多个固定电容板，上盖上的...
肖定邦吴学忠陈志华王兴华张浩崔红娟吴宇列侯占强苏剑彬
文献传递
用于微机械陀螺的刻度因数稳定性提升方法及装置
本发明公开了一种用于微机械陀螺的刻度因数稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：检测环境温度；生成高频方波信号并根据环境温度生成模拟电压信号；将高频方波信号作为开关调制的控制信号，对放大后的模拟电压信号与GND信号进行开关调...
肖定邦陈志华吴学忠侯占强何汉辉苏剑彬李文印王兴华
文献传递
一种单片三轴微机械加速度计
本发明公开了一种单片三轴微机械加速度计，包括键合连接为一体的上盖、下盖以及多个带有活动电容极板的敏感质量块组件，所述多个敏感质量块组件呈中心中心对称结构布置于上盖和下盖之间，所述上盖和下盖上均设有多个固定电容板，上盖上的...
肖定邦吴学忠陈志华王兴华张浩崔红娟吴宇列侯占强苏剑彬
用于微机械陀螺的刻度因数稳定性提升方法及装置
本发明公开了一种用于微机械陀螺的刻度因数稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：检测环境温度；生成高频方波信号并根据环境温度生成模拟电压信号；将高频方波信号作为开关调制的控制信号，对放大后的模拟电压信号与GND信号进行开关调...
肖定邦陈志华吴学忠侯占强何汉辉苏剑彬李文印王兴华
一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器
本发明公开了一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器，该方法为：直接将电容式微机械传感器中敏感结构的输出接口电容与电荷放大器的负输入端相连，并在电容式微机械传感器中制作固定电容作为电荷放大器的反馈电容...
肖定邦陈志华吴学忠胡小平刘学侯占强张旭苏剑彬王兴华贺琨
文献传递
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