武义锋
- 作品数：126 被引量：85H指数：5
- 供职机构：安徽万瑞冷电科技有限公司更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项青年科技基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程化学工程金属学及工艺更多>>
- DN900LN_2型低温泵的研制被引量：2
- 2013年
- 介绍了一种应用于环模装置的DN900LN2型低温泵的研制情况,该低温泵是利用循环液氮配合GM低温制冷机共同提供冷量来进行低温冷凝和低温吸附达到抽真空目的,其口径为900 mm,对N2抽速大于30 000 L/s。文中详细论述了其结构及工作原理、吸附阵和液氮冷屏的具体设计及计算、热负荷计算等,并给出了性能测试方法及测试结果。该文的研究为大口径低温泵的研制提供了设计思路和计算方法参考。
- 武义锋徐中堂
- 关键词：低温泵热负荷制冷机
- 一种快速降温型低温泵及其降温方法
- 本发明公开了一种快速降温型低温泵，包括壳体、双级GM制冷机系统、辐射冷屏、低温板以及引入外部制冷液体的液冷源馈入部件，所述液冷源馈入部件包括中空直线导入器、馈入管路、液冷源容器、导冷块。调节所述中空直线导入器，可带动所述...
- 邓家良武义锋冯苌春曾环孙志和
- 半导体PVD用200mm口径低温泵性能测试研究
- 2023年
- 降温时间、最低工作压力、抽速和抽气容量是低温泵的关键性能参数,本文设计并搭建了综合性能测试平台对200mm口径低温泵ICP200N进行了系统测量和分析。结果表明,ICP200N低温泵降温时间小于90min;无烘烤条件下最低工作压力可达10^(-7)Pa量级,此时主要残留气体成分为H_(2)O和H_(2)。给出了低温泵在PVD实际应用中比较重要的30s恢复容量的测量方法,测得ICP200N低温泵氩气和氮气30s恢复容量分别为820L和590L。设计了一种简易流量校准装置提高了抽速测量精度,测试表明ICP200N低温泵氮气、氩气抽速与国际主流竞品低温泵相当。目前ICP200N低温泵已在国内半导体客户产线PVD装备上获得了批量应用。
- 邓家良曾环杨杨冯欣宇冯欣宇
- 关键词：低温泵抽速
- 一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法
- 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法，包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐，所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通，换热器的气路出口与滤油器连通，换热器的油路出口通过常开电磁阀与...
- 程祥邓家良冯欣宇武义锋丁怀况张海峰曾环杨杨韩雨松俞杰郑佳
- 一种制冷机为冷源的氖氦稀有气体分离精制工艺方法
- 本发明公开了一种制冷机为冷源的氖氦稀有气体分离精制工艺方法，包括利用加氧催货原理的除氢干燥模块、利用低温纯化器原理的除氮氧及氦气精制模块和以制冷机为冷源的氖氦分离及氖气精制模块，依次进行除氢干燥、除氮氧、氖氦分离及氖气精...
- 张俊峰章学华丁怀况郭会军陈耀峰苏玉磊何超峰张海峰胡锐武义锋黄阿娟
- 文献传递
- 大功率涡旋式氦压缩机系统的研制被引量：3
- 2011年
- 介绍了一种5.6KW功率涡旋式氦压缩机系统的研制情况,主要是为了配套大冷量低温制冷机而研制的。采用特有的技术对商用空调压缩机进行了改制,并配套了自行设计的高效可靠的滤油纯化系统,满足了制冷机长期可靠工作的要求。经过运行试验和客户使用,该氦压缩机系统性能是可靠的,研制是成功的,并已小批量生产销售。
- 武义锋丁先庚
- 关键词：氦压缩机氦气
- 一种低温流体传输管线漏热测试装置及方法
- 本发明公开了一种低温流体传输管线漏热测试装置，所述装置包括测试用的流体、控制系统、沿流体传输方向依次循环连接的制冷机、第一加热器、低温传输管线、第二加热器、质量流量计、缓冲罐和循环泵。本发明还公开了基于该装置的测试方法。...
- 杜文清丁怀况汪澎孙志和章学华武义锋韩锐陶文兵黄倩卢毛磊王沛胡居利任琪琛
- 文献传递
- 一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机
- 本实用新型公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机，包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器，所述压缩机通过管道与储气腔相连通，所述储气腔的内腔安装有阀组，所述阀组通过管道与一级回热器相连通，所述一...
- 张海峰武义锋丁怀况曾环俞杰王建勇邓家良冯欣宇程祥韩雨松杨杨
- 文献传递
- G-M制冷机低温泵减振设计和抽氢性能研究被引量：3
- 2023年
- 本文详细介绍了G-M型制冷机低温泵冷屏和障板的热力学仿真、低温泵减振设计和抽氢性能研究。G-M型制冷机低温泵开机降温,完成减振低温泵振幅测试和抽氢性能试验。减振低温泵的泵口振幅降至±0.096μm,低温泵实际抽氢速率优于14000 L/s,与设计相符,满足客户使用需求。
- 曾环杨杨武义锋邓家良
- 关键词：G-M型制冷机低温泵减振设计
- 高温超导故障限流器及其在电力系统中的应用
- 2013年
- 超导故障限流器的工作原理是利用超导体的超导态与正常态之间相互转变的物理特性,实现对故障短路电流的限制,它具有结构简单、体积小的特点和限制高故障电流的能力;超导故障限流器的制冷系统是其关键技术。在分析了国内外高温超导故障限流器制冷系统的技术发展状况后,以国外超导故障限流器的制冷系统为例,具体叙述了制冷系统的工程实施过程以及可以改进的方向。最后,对国内在超导故障限流器的发展作了概述。
- 许令顺张华标张俊峰武义锋仰叶
- 关键词：超导故障限流器制冷系统失超终端
