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李忠信

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇多孔
  • 1篇多孔陶瓷
  • 1篇真空吸盘
  • 1篇上板
  • 1篇试验台
  • 1篇陶瓷
  • 1篇自旋
  • 1篇外圈
  • 1篇吸盘
  • 1篇密封
  • 1篇密封环
  • 1篇磨削力
  • 1篇硅片
  • 1篇IC

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇李忠信
  • 1篇张士军
  • 1篇杨利军
  • 1篇郭东明
  • 1篇金洙吉
  • 1篇李伟健
  • 1篇康仁科

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅片自旋磨削试验台关键技术的研究
随着集成电路(IC)制造技术的飞速发展,硅片趋向大直径化.同时对硅片加工精度、表面粗糙度、表面缺陷、表面洁净度和硅片强度等提出更高的要求.超精密磨削被认为是最有发展前景的大尺寸硅片高效超精密加工技术,其中,硅片自旋转磨削...
李忠信
关键词：IC硅片磨削力
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一种真空吸盘
本实用新型一种真空吸盘属于真空吸盘领域，适用于吸附很薄的硬脆材料。真空吸盘由吸盘底板和多孔陶瓷上板组成，真空吸盘采用分体式结构，陶瓷密封环装在多孔陶瓷上板的外圈，两者之间用环氧树脂粘牢，安放在吸盘底板上面；在吸盘底板的上...
金洙吉郭东明康仁科杨利军李忠信张士军李伟健
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