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朱阳军
作品数:
125
被引量:19
H指数:3
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
卢烁今
江苏物联网研究发展中心
田晓丽
中国科学院微电子研究所
吴振兴
中国科学院微电子研究所
陆江
中国科学院微电子研究所
赵佳
中国科学院微电子研究所
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2012
1篇
2007
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IGBT器件及其制作方法
本发明实施例公开了一种IGBT器件,该IGBT器件的N型基极区背面的依次设置有第一N型缓冲层、第二N型缓冲层和第三N型缓冲层,其中所述第一N型缓冲层的掺杂杂质为第五主族元素离子,且所述第一N型缓冲层的杂质浓度大于N型基极...
胡爱斌
朱阳军
卢烁今
王波
吴振兴
田晓丽
赵佳
陆江
文献传递
微穿通型IGBT器件及其制作方法
本发明公开了一种微穿通型IGBT器件,包括:衬底,所述衬底具有第一导电类型的集电区、第二导电类型的漂移区、第一导电类型的阱区以及第二导电类型的源区;栅极;位于集电区与漂移区之间的第二导电类型的微穿通区,所述微穿通区的掺杂...
朱阳军
田晓丽
孙宝刚
卢烁今
文献传递
一种IGBT及其制作方法
本发明公开了一种IGBT及其制作方法,所述IGBT包括:位于所述半导体衬底上表面的栅极结构;位于所述半导体衬底上表面内的阱区、源区和浅阱区,其中,所述阱区内设置有源区,所述阱区、源区以及浅阱区的上表面与所述半导体衬底的上...
谈景飞
朱阳军
胡爱斌
张文亮
王波
文献传递
绝缘栅双极晶体管终端及其制作方法
本发明实施例公开了一种绝缘栅双极晶体管终端及其制作方法。该所述终端保护结构包括:漂移区;位于漂移区内的终端保护结构;其中,所述终端保护结构包括:主结、截止环及位于所述主结与截止环之间的分压沟槽。本发明所提供的绝缘栅双极晶...
朱阳军
田晓丽
卢烁今
吴振兴
文献传递
一种新颖的测量器件结温分布的电学方法
使用电学方法测量半导体器件的结温分布,几十年来一直是微电子领域的一个世界性的科教难题。本文提出了一种崭新的测量器件结温分布的电学方法,即晶体管热谱分析方法。不同于传统测试方法中使用的单一测量电流,热谱分析方法通过多阶梯恒...
朱阳军
苗庆海
Yuan Miao
张兴华
韩郑生
卢烁今
关键词:
半导体器件
一种TI‑IGBT器件
一种TI‑IGBT器件,包括器件衬底,所述衬底的正面为MOS元胞,所述衬底的反面为集电极金属,所述器件衬底为所述器件的N<Sup>‑</Sup>漂移区,在所述N<Sup>‑</Sup>漂移区下方设有N<Sup>+</Su...
张文亮
朱阳军
田晓丽
喻巧群
文献传递
半导体器件、PIN二极管和IGBT的制作方法
本发明提供一种半导体器件的制作方法,同时还提供了PIN二极管的制作方法以及IGBT的制作方法,所述半导体器件的制作方法包括提供多个半导体衬底;对需进行少子寿命控制的半导体衬底上的功能区进行少子寿命控制处理;采用键合工艺将...
张文亮
朱阳军
陆江
田晓丽
卢烁今
文献传递
超结的制作方法
一种超结的制作方法,包括:提供一轻掺杂衬底,采用嬗变掺杂工艺形成P型重掺杂区或N型重掺杂区,退火处理;或提供第一类型重掺杂衬底,采用嬗变掺杂工艺形成第二类型重掺杂区,退火处理。本申请所提供的超结的制作方法简化了制作流程,...
朱阳军
张文亮
田晓丽
胡爱斌
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IGBT芯片及其制作方法
本发明实施例公开了一种IGBT芯片,包括栅极焊盘和栅极总线,还包括:位于所述栅极焊盘与所述栅极总线之间的补偿电阻区。本发明在IGBT芯片的栅极焊盘与栅极总线之间增加了补偿电阻区,该补偿电阻区的电阻相当于IGBT芯片的栅极...
陈宏
胡少伟
卢烁今
吴振兴
朱阳军
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功率半导体器件的背面集电极结构
本发明涉及一种功率半导体器件的背面集电极结构,按照本发明提供的技术方案,所述功率半导体器件的背面集电极结构,在N导电类型硅衬底的背面设有P导电类型氮化镓层,在P导电类型氮化镓层的背面设有集电极。本发明在器件的背面制作异质...
陈宏
朱阳军
邱颖斌
徐承福
吴凯
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