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易德兴
作品数:
1
被引量:16
H指数:1
供职机构:
信息产业部电子第五研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
王善慈
中华人民共和国工业和信息化部
王蕴辉
信息产业部电子第五研究所
齐虹
中华人民共和国工业和信息化部
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压力传感器
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作者
1篇
齐虹
1篇
王蕴辉
1篇
王善慈
1篇
易德兴
传媒
1篇
传感器技术
年份
1篇
2001
共
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被引量排序
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硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析
被引量:16
2001年
通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验 ,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析 ,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理 ,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系 ,提出了相应的改进措施。
齐虹
王蕴辉
易德兴
王善慈
关键词:
可靠性
失效模式
压力传感器
硅
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