彭志坚
- 作品数：6 被引量：23H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术冶金工程更多>>
- SiH_2Cl_2-NH_3-N_2体系LPCVD氮化硅薄膜生长工艺被引量：1
- 2008年
- 以自行研制的LPCVD设备所进行的工艺试验为基础,简要介绍了Si3N4薄膜的制备方法和LPCVD法制备的Si3N4薄膜的特性以及低压化学气相淀积(LPCVD)氮化硅的工艺。通过调节淀积温度、工艺气体流量、工艺压力及片距等工艺参数,最终使批量生产的氮化硅薄膜在均匀性、应力、耐腐蚀等方面均达到了使用要求。
- 李学文彭志坚
- 关键词：氮化硅薄膜LPCVD气体流量
- 基于电力线载波通信的CPU卡预付费电能表的设计
- 2009年
- 将电力线载波通信技术与CPU卡技术相结合,设计了一款新型的预付费电能表。CDMA多址技术运用于自动抄表系统中,将CPU卡应用于电能表预付费管理系统中,解决了"表难"和"收费难"的同时,也保证了系统的安全性。系统采用SoC芯片设计,具有很高的稳定和实用性。
- 彭志坚刘阳新张彬庭
- 关键词：载波通信CPU卡码分多址
- 软着陆洁净闭管扩散炉研制被引量：5
- 2010年
- 介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉,着重介绍了设备结构组成及性能,并给出了工艺结果说明设备性能达到国内领先水平。
- 刘良玉彭志坚
- 关键词：软着陆扩散炉
- 聚焦离子束扫描显像技术被引量：1
- 2009年
- 聚焦离子束(FIB)是一种将微分析和微加工相结合的新技术,广泛应用于芯片电路修改、研磨、沉积和二次电子离子成像。扫描显像技术是FIB的重要功能,主要用于器件精密加工中,校正束与工件的坐标位置,修正像的畸变。还可以在显示器上观察加工工件的表面形貌,使加工更加直观。FIB其它所有的功能和应用都要在扫描离子显微镜所显示的图像下进行,叙述了用于FIB扫描显像的一种新方法。
- 彭志坚张彬庭
- 关键词：FIB微细加工显像
- 基于微分先行PID算法的铸锭炉温控系统被引量：15
- 2009年
- 针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法。应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制。
- 杨晓生彭志坚肖益波谭晓松
- 关键词：PID温度控制
- LTCC专用烧结炉的研制被引量：1
- 2009年
- 随着低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)多层基板为适应电子器件向着小型化、高密度、多功能的发展,从而对低温共烧工艺设备的也提出了更为严格的要求。针对目前低温共烧工艺设备的主要特点介绍了低温共烧陶瓷技术中新型烧结炉的研制方案及技术难点。
- 彭志坚邓斌
- 关键词：LTCC烧结炉
