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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电子浓度
  • 1篇异质结
  • 1篇迁移
  • 1篇迁移率
  • 1篇非接触
  • 1篇GAAS_P...
  • 1篇INGAAS...
  • 1篇泊松比

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇崔琦
  • 2篇张培凤
  • 1篇张曦
  • 1篇杨建业
  • 1篇韩颖
  • 1篇张珂

传媒

  • 2篇半导体技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
泊松比取值对InGaAs/GaAs异质结组分分析的影响
2015年
通过对InxGa1-xAs泊松比的两级优化,讨论了泊松比取值对InxGa1-xAs/GaAs异质结应变层中组分分析的影响。以PB模型计算的临界厚度为指导,设计了一组实验,采用分子束外延(MBE)技术生长不同In组分、不同应变层厚度的InxGa1-xAs/GaAs异质结样品且进行X射线双晶衍射测试,并依据该结果分析应变层组分。对于影响组分分析的泊松比,通过线性内插法将应变层泊松比优化为组分的函数,并分别采用传统的单一值和优化的泊松比分析应变层的组分:泊松比取单一值1/3时,组分偏差高达0.009 1,取优化的泊松比时,偏差仅0.001 5。研究表明,相对于取单一值和线性内插法优化的泊松比,采用线性内插弹性系数优化的泊松比可以更准确地分析异质结应变层的组分。
张培凤杨建业韩颖张曦张珂崔琦
关键词:泊松比
GaAs PHEMT材料电子迁移率的非接触测试
2014年
非接触迁移率测试是一种测试载流子浓度以及迁移率的新型方法,与传统的范德堡霍尔测试相比,具有无损测量和分层测试等诸多优点。分别采用传统的范德堡霍尔测试法和新型的非接触迁移率测试法对不同帽层厚度、不同掺杂浓度的GaAs PHEMT样品进行测试分析。结果表明,在盖帽层很薄的情况下,两种测试方法所测得的电子浓度以及迁移率一致,而在盖帽层较厚的情况下,由于受盖帽层重掺杂电子的影响,范德堡霍尔测试无法测得沟道内二维电子气(2DEG)浓度和迁移率,而非接触式迁移率测试法可以将盖帽层和沟道层分开,准确地测得沟道内2DEG浓度和迁移率。
张培凤崔琦
关键词:迁移率电子浓度
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