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张亚军
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
江南大学物联网工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
祖帅
江南大学物联网工程学院
钟传杰
江南大学物联网工程学院
王乐
江南大学物联网工程学院
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江南大学
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王乐
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钟传杰
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张亚军
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祖帅
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1篇
2012
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双层复合栅介质膜的制备及电学性能研究
被引量:1
2012年
介电常数分别为2.6的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)及介电常数为16的偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物(P(VDF-TrFE))两种不同的有机绝缘材料,通过溶液旋涂的方法在P型硅衬底上制备了不同结构的复合栅介质膜并测试了它们的高频C-V特性及漏电特性。实验结果表明Si-PMMA-P(VDF-TrFE)-Ag结构绝缘膜上单位面积电容达到了35nF/cm2,40V电压下漏电流随着扫描次数的增加逐渐由7.29×10-7 A/cm2降低至3.44×10-7 A/cm2。而Si-P(VDF-TrFE)-PM-MA-Ag结构栅介质膜测得的单位面积电容仅为15nF/cm2,在相同电压下的单位面积漏电流为1.93×10-8 A/cm2。在此基础上分析了电子陷阱以及电场强度对双层栅绝缘膜C-V、I-V特性的影响。
王乐
张亚军
祖帅
钟传杰
关键词:
OTFT
电子陷阱
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