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左雷
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
华北光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
朱西安
华北光电技术研究所
李震
华北光电技术研究所
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第二届全国先...
年份
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2006
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SIMS在碲镉汞红外焦平面探测器工艺中的应用
本文介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用。
朱西安
左雷
李震
关键词:
红外探测
质谱分析
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SIMS在碲镉汞红外焦平面探测器工艺中的应用
被引量:3
2006年
文章介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用。
朱西安
左雷
李震
关键词:
二次离子质谱
碲镉汞
红外焦平面阵列
结深
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