孟美玉
- 作品数：13 被引量：44H指数：5
- 供职机构：中北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术交通运输工程兵器科学与技术电子电信更多>>
- 三轴压阻微加速度计的结构力学分析被引量：5
- 2007年
- 为了提高三轴加速度计机械精度和加工过程中硅片的一致性,设计了基于SOI的单质量块四边八梁结构的三轴加速度计。通过连接扩散在梁上的压敏电阻构成得惠斯通电桥检测三个方向的加速度信号。电桥设计为开环形式,并给出三个方向的电桥输出。结合材料力学和振动力学中的相关理论,建立了结构的数学模型,并对其进行了系统的力学分析,从而得出结构参数对加速度计的一阶固有频率、灵敏度等性能的影响。利用有限元ANSYS仿真软件对结构模型进行了静态和模态分析,验证了力学分析的正确性。最后设计了八张版图及一套可行的工艺流程并加工出加速度计裸片。该微加速度计可同时检测三维加速度矢量,且电桥和结构的设计均较好的抑制了横向效应。
- 孟美玉刘俊石云波
- 关键词：仿真
- 压阻式高g值加速度计
- 本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种压阻式高g值加速度计。解决了现有压阻式加速度计结构不能同时满足固有频率高、灵敏度高、能承受较高的横向加速度等特性要求的问题，该加速度计包括固定于玻璃底板上的硅基框架、弹性梁、以及通...
- 石云波刘俊张文栋崔永俊杨玉华孟美玉张琼
- 文献传递
- Design of 4-channel Data Acquisition System Based on MAX113
- This paper mainly introduced the characteristics and the application in the memorized testing and measurement ...
- 方媛马游春李锦明张学彦孟美玉
- 关键词：NONLINEAR
- 基于SOI的三轴压阻微加速度计的设计被引量：3
- 2008年
- 为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计。采用四边四梁结构,根据梁上扩散的压敏电阻在分别受到三个方向惯性力作用时变化量不同设计三个方向的惠斯通电桥,实现三维加速度矢量的检测。运用ANSYS软件对结构进行建模仿真,最后设计了一套可行的工艺流程。
- 石云波孟美玉刘俊马宗敏
- 关键词：压阻式SOI
- 复合梁压阻加速度计
- 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种复合梁压阻加速度计。解决了现有高g加速度计的结构不能满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，同时抗冲击性能较差的问题，该加速度计包括硅基支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于硅基支撑...
- 刘俊石云波崔永俊李孟委杨玉华孟美玉
- 文献传递
- 复合梁压阻加速度计
- 本发明涉及微机械电子技术，具体是一种复合梁压阻加速度计。解决了现有高g加速度计的结构不能满足一阶固有频率高、频率响应范围宽的特性要求，同时抗冲击性能较差的问题，该加速度计包括硅基支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于硅基支撑...
- 刘俊石云波崔永俊李孟委杨玉华孟美玉
- 文献传递
- 复合梁加速度计的设计被引量：5
- 2008年
- 为了解决现有侵彻环境下高g加速度传感器因过载失效的问题,提出了一种复合梁双框架结构的高g压阻加速度计。对复合梁结构和传统结构的频率、应力、位移进行了分析和比较,复合梁加速度计具有更宽的频率响应范围和更好的抗冲击性能。根据设计的结构对复合梁加速度计的加工工艺进行了研究,为进一步的结构设计优化以及后续的加工提供了有价值的参考依据。
- 孟美玉刘俊石云波
- 关键词：复合梁过载
- 厚膜混合集成MEMS电容式加速度计
- 2009年
- 设计了电容式加速度计的信号检测电路。与电容式加速度计表头进行了联调和测试。并进行了标定。为减小体积。提高电容式加速度计的检测精度，采用了厚膜混合集成技术．将检测电路和电容式加速度计集成于一体。最后进行了电路测试和性能测试。
- 郭虎岗王玲高健飞马宗敏孟美玉
- 关键词：电容式加速度计厚膜混合集成MEMS混合集成技术电路测试
- 微型高过载加速度传感器的加工与测试被引量：17
- 2008年
- 针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合,结构加工工艺简单可行。利用霍普金森冲击校准装置进行冲击加速度动态特性校准,试验结果分析表明,被测微加速度传感器的灵敏度为0.71μV/g,与理论值基本吻合。结构受到200 000g冲击后完好且输出信号正常,能有效地满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求。
- 石云波祁晓瑾刘俊孟美玉
- 关键词：高过载加速度传感器
- MEMS高G值加速度传感器设计被引量：9
- 2008年
- 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。
- 石云波祁晓瑾刘俊孟美玉
- 关键词：微机电系统高G值加速度传感器仿真
