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孟亮

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇偏压
  • 1篇氢等离子体
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇温晓辉
  • 1篇张杰
  • 1篇丁芳
  • 1篇朱晓东
  • 1篇孟亮

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热丝辅助双偏压氢等离子体制造金刚石锥状表面研究被引量：2
2008年
利用热丝辅助双偏压氢等离子体对化学气相沉积金刚石薄膜进行了纳米尺度上的表面改装,制造出锥状金刚石列阵.金刚石薄膜内在的柱状结构使氢离子在刻蚀薄膜时产生非均匀的刻蚀速率,对锥状表面的形成起着重要作用.另一方面,溅射出的含碳粒子会发生二次沉积,最终的特征表面形貌取决于刻蚀与含碳基团再沉积之间的相互竞争.栅极的使用影响基底区域放电的伏安特性,改变栅极电流可以对形成的金刚石特征表面结构进行有效调节.在处理过程中少量掺入甲烷,提高了金刚石表面附近的含碳基团浓度,促进二次成核,进而诱发均匀分布的锥状列阵.
孟亮张杰朱晓东温晓辉丁芳
关键词：等离子体金刚石薄膜
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