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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇氧化锆
  • 2篇稳定化
  • 2篇摩尔比
  • 2篇耐高温
  • 2篇溅射
  • 2篇反应溅射
  • 2篇掺杂

机构

  • 2篇中国科学技术...

作者

  • 2篇侯建国
  • 2篇王海千
  • 2篇黄烽
  • 2篇李明
  • 2篇宋亦周
  • 2篇谢斌
  • 2篇姜友松

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种掺杂稳定化氧化锆的耐高温光学膜及其制备方法
本发明掺杂稳定化氧化锆的耐高温光学膜及其制备方法,特征是采用磁控反应溅射仪或自由基辅助溅射仪,由Y与Zr按摩尔比为10-50∶100或由Al与Zr按摩尔比为3.5-9∶10组成的混合靶材作为溅射源;所得到的由稳定化的氧化...
黄烽王海千李明谢斌侯建国宋亦周姜友松
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一种掺杂稳定化氧化锆的耐高温光学膜及其制备方法
本发明掺杂稳定化氧化锆的耐高温光学膜及其制备方法,特征是采用磁控反应溅射仪或自由基辅助溅射仪,由Y与Zr按摩尔比为14-50∶100或由Al与Zr按摩尔比为3.5-9∶10组成的混合靶材作为溅射源;所得到的由稳定化的氧化...
黄烽王海千李明谢斌侯建国宋亦周姜友松
文献传递
共1页<1>
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