吴敬
- 作品数：76 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 一种微桥结构锰钴镍氧薄膜红外探测器及其制备方法
- 本发明公开了一种微桥结构锰钴镍氧薄膜红外探测器件及其制备方法。探测器的微桥结构为一平台，将锰钴镍氧薄膜材料沉积在该平台上制作红外探测器，其微桥结构的牺牲层采取直接加热的方式去除，而无需在锰钴镍氧探测元上再沉积一层钝化层，...
- 黄志明张飞周炜吴敬黄敬国高艳卿曲越孙雷江林姚娘娟褚君浩
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- 一种基于硅介质结构的增强型红外薄膜探测器及制备方法
- 本发明公开了一种基于硅介质结构的增强型红外薄膜探测器及制备方法，所述探测器由氧化铝衬底，锰钴镍氧敏感元，硅介质结构层，锗单晶半球透镜，以及器件管座组成。在传统热敏薄膜型探测器的基础上，通过在锰钴镍氧敏感元表面，引入特定图...
- 黄志明胡涛张惜月张志博吴敬江林
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- 退火对Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影响被引量：1
- 2016年
- 采用磁控溅射法制备了厚度为6.5μm的Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4组分的薄膜材料,把材料分别在400℃,500℃,600℃,700℃,800℃下进行后退火处理.结果表明,室温下的负电阻温度系数α295值随退火温度增加先增大后减小,而电阻率ρ_(295)则是随退火温度增加逐渐减小的;在相同频率下,500℃退火样品的归一化噪声谱密度(S_V·V_R/V^2)最小,700℃退火样品的归一化噪声谱密度最大.退火温度越高会造成越多的晶体缺陷,从而降低有效导热系数、增大时间常数τ和器件噪声.
- 张飞欧阳程周炜吴敬高艳卿黄志明
- 关键词：退火温度探测率
- 不同厚度锰钴镍氧化物薄膜的红外光学性质研究
- 锰钴镍尖晶石氧化物MnxCoyNi3-x-yO4不仅具有铁磁-顺磁转变等丰富的物理特性,同时因其具有高的负电阻温度系数(NTC),在航空航天及其它民用技术领域有广泛的应用前景[1].
- 高艳卿侯云吴敬周炜欧阳程黄志明
- 一种具有预退火功能的匀胶机
- 本发明公开了一种具有预退火功能的匀胶机，它包括注胶装置，加热装置，散热装置和匀胶机四部分。注胶装置将手动滴胶过程简化为常闭型水阀的简单开关动作的控制过程，提高了滴胶效率，避免经验化滴胶可能带来的问题。加热装置用于对样品进...
- 黄志明欧阳程周炜吴敬高艳卿龙芳褚君浩
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- 一种基于Pt/Ti/SiO<Sub>2</Sub>/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器
- 本发明提供了一种基于Pt/Ti/SiO<Sub>2</Sub>/Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器。其特征在于，其中包括：一Pt/Ti/SiO<Sub>2</Sub>/Si衬底；一导电类型为n型的Mn-Co-Ni-O薄膜；...
- 侯云黄志明高艳卿吴敬张雷博周炜张琰褚君浩
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- 一种基于反铁磁自旋轨道扭矩的太赫兹探测器
- 本发明公开了一种基于反铁磁自旋轨道扭矩的太赫兹探测器,该探测器利用铁磁材料与微波自旋共振实现自旋从铁磁层到反铁磁层的注入，通过自旋‑轨道扭矩使反铁磁材料奈尔矢量自激振荡。当反铁磁材料接收外界太赫兹辐射时，震荡频率通过锁相...
- 黄志明李敬波吴敬高艳卿周炜姚娘娟江林马建华黄敬国
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- Mn-Co-Ni-O热敏薄膜的湿法刻蚀方法
- 本发明公开了一种Mn-Co-Ni-O热敏薄膜的湿法刻蚀方法，主要包括以下步骤：第一步，使用正性光刻胶进行正胶光刻，得到所需图案，将需要的台面图形用光刻胶保护起来；第二步，使用现配的还原性刻蚀液，依据样品片厚度估计所需刻蚀...
- 黄志明周炜张雷博侯云吴敬褚君浩
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- 一种背入射浸没式热敏薄膜型红外探测器
- 本发明公开了一种背入射浸没式热敏薄膜型红外探测器，所述的红外探测器衬底背面上集成一能会聚红外信号的锗单晶半球透镜，探测器的敏感元和起补偿作用的补偿元分别位于锗透镜聚光中心焦点位置和边缘区域。该专利的优点在于：能有效消除热...
- 欧阳程黄志明周炜吴敬高艳卿龙芳褚君浩
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- 非制冷长波红外探测器用吸收层结构
- 本专利公开了一种非制冷长波红外探测器用吸收层结构，该吸收层位于探测器的热敏感薄膜上，自上而下依次由第一介质层、第二金属层、第三绝缘层组成。其特征在于：第一介质层是导热性好、抗腐蚀性强的氮化硅薄膜，作为减反层和器件保护层，...
- 欧阳程黄志明周炜吴敬高艳卿龙芳褚君浩
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