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卢肖
作品数:
3
被引量:6
H指数:2
供职机构:
电子科技大学微电子与固体电子学院
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
吴传贵
电子科技大学微电子与固体电子学...
李言荣
电子科技大学微电子与固体电子学...
张万里
电子科技大学微电子与固体电子学...
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吴传贵
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3篇
2006
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射频溅射制备的BST薄膜介电击穿研究
被引量:3
2006年
采用射频溅射制备BST薄膜,研究了薄膜的介电击穿特性.实验表明,在电压增大到传统击穿电压(电流密度出现瞬时增大时的电压)之前,薄膜性能已被破坏,发现在传统击穿状态之前存在另一个新状态———初始击穿状态.通过测试各状态的J-V(电流密度-电压)、J-T(电流密度-温度)特性分析其导电机理,建立了薄膜结构、漏电性能随电场强度增大而变化的模型.最后提出了确定实际意义上击穿电压的方法.
卢肖
吴传贵
张万里
李言荣
关键词:
BST薄膜
漏电流
BST薄膜漏电流温度特性研究
被引量:3
2006年
采用射频溅射制备Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜,研究了测试温度(295~375K)对BST薄膜J-V(电流密度-电压)特性的影响。实验发现:J∝V^m在低场下(V〈1.8V)m≈1,高场下(V〉1.8V)m≈8。随着测试温度升高,在低场下电流密度增大,指数优值保持不变;而在高场下电流密度减小,指数优值减小。通过进一步分析发现:电流密度和温度的关系在低场下满足InJ∝-1/T,在高场下满足logJ∝1/t。
卢肖
吴传贵
张万里
李言荣
关键词:
BST薄膜
漏电流
温度特性
BST热释电薄膜漏电特性研究
BST薄膜具有高介电系数、低漏电流密度、居里温度可调以及优异的热释电性能等优点,可被广泛应用于非制冷红外探测器、动态随机存储器、高介电常数电容器、介质移相器等电子信息领域。对于在器件方面的应用,BST薄膜的漏电流是最重要...
卢肖
关键词:
BST薄膜
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