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刘海啸
作品数:
5
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京大学
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
许胜勇
北京大学
孙伟强
北京大学
薛炯微
北京大学
庄虔伟
北京大学
吴修栋
北京大学
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机构
5篇
北京大学
作者
5篇
刘海啸
4篇
孙伟强
4篇
许胜勇
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龚巍巍
2篇
吴修栋
2篇
庄虔伟
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薛炯微
年份
3篇
2013
1篇
2012
1篇
2011
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微纳米流体系统及其制备方法
本发明公开了一种制备微纳米流体系统的方法。该方法,包括如下步骤:1)在基底上制备薄膜热电偶阵列,得到薄膜热电偶阵列层;2)在所述步骤1)制备得到的薄膜热电偶阵列层上制备一层绝缘层a,并在所述绝缘层之上制备一层场调制层;3...
许胜勇
庄虔伟
吴修栋
刘海啸
龚巍巍
薛炯微
孙伟强
微纳米流体系统及其制备方法
本发明公开了一种制备微纳米流体系统的方法。该方法,包括如下步骤:1)在基底上制备薄膜热电偶阵列,得到薄膜热电偶阵列层;2)在所述步骤1)制备得到的薄膜热电偶阵列层上制备一层绝缘层a,并在所述绝缘层之上制备一层场调制层;3...
许胜勇
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刘海啸
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孙伟强
文献传递
一种金属薄膜微米尺度热电偶器件
本发明提供一种金属薄膜微米尺度热电偶器件,该热电偶器件包括绝缘基片,在绝缘基片上附着有一金属薄膜热电偶或多个金属薄膜热电偶构成的热电偶阵列,其中金属薄膜热电偶为单种金属的两条对折薄膜,其中,窄条带的宽度小于20微米,另一...
孙伟强
刘海啸
许胜勇
基于薄膜热电偶及其阵列的新型局域热测量方法
随着微纳加工工艺的发展,微电子器件已迈入纳米电子学的尺度门槛,至2012年最先进的CMOS器件特征尺度已接近16 nm。微纳器件局促的工作空间放大了热耗散问题,对器件进行有效热管理的前提是性能优异的强大局域热测量手段,但...
刘海啸
关键词:
热电效应
薄膜热电偶
温度传感器
一种金属薄膜微米尺度热电偶器件
本发明提供一种金属薄膜微米尺度热电偶器件,该热电偶器件包括绝缘基片,在绝缘基片上附着有一金属薄膜热电偶或多个金属薄膜热电偶构成的热电偶阵列,其中金属薄膜热电偶为单种金属的两条对折薄膜,其中,窄条带的宽度小于20微米,另一...
孙伟强
刘海啸
许胜勇
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