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侯波
作品数:
30
被引量:27
H指数:3
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
动力工程及工程热物理
环境科学与工程
化学工程
建筑科学
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合作作者
周斌
清华大学
张嵘
清华大学
魏琦
清华大学
宋明亮
清华大学
由长福
清华大学机械工程学院热能工程研...
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作者
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侯波
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张嵘
21篇
周斌
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魏琦
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宋明亮
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由长福
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一种MEMS容栅式角位移传感器及其制造方法
本发明涉及一种MEMS容栅式角位移传感器及其制造方法,其包括机械外壳、敏感结构和处理ASIC电路;所述机械外壳采用凹槽型结构,位于凹槽边缘处设置有阶梯状结构,用于嵌设所述敏感结构,所述敏感结构的背部设置有所述处理ASIC...
周斌
侯波
邢博文
张嵘
魏琦
中温干法烟气脱硫过程实验研究
侯波
关键词:
循环流化床
废气处理
烟气脱硫
一种绝对式电容角位移测量传感器
本发明涉及一种绝对式电容角位移测量传感器,其特征在于包括敏感结构、信号调制解调电路和误差补偿及融合模块;敏感结构包括纵向平行设置的第一定子、转子和第二定子;第一定子顶部外侧设置精测采集电极,第一定子顶部内侧设置精测激励电...
张嵘
周斌
侯波
宋明亮
林志辉
文献传递
一种电容式旋变位移传感器
本发明涉及一种电容式旋变位移传感器,其特征在于,该位移传感器包括敏感结构和解调电路;敏感结构包括动尺和定尺,动尺和定尺平行设置,动尺内侧平行设置两正弦敏感电极,两正弦敏感电极之间设置耦合电极,且两正弦敏感电极和耦合电极为...
张嵘
周斌
侯波
邢海峰
张永健
文献传递
新型水合脱硫剂制备工艺研究
侯波
关键词:
高效脱硫剂
水合
一种用于MEMS传感器刻蚀的散热补偿微结构
本发明公开了一种用于MEMS传感器刻蚀的散热补偿微结构。具体是通过在刻蚀热量集中区域,如梳齿空隙,梁结构周围等需要被刻蚀区域下方设计散热结构,散热结构连接结构层与基底层,在结构硅层刻通之前,反应产生的热量通过散热柱传递至...
周斌
邢博文
侯波
张嵘
魏琦
陈志勇
文献传递
一种分瓣电容式角位移传感器
本发明涉及一种分瓣电容式角位移传感器,它包括解调电路和敏感结构,解调电路产生正弦激励信号作用于敏感结构,由敏感结构将电容变化信息返回至解调电路进而获得转角信息。敏感结构包括定子和转子,在定子表面设置有保护电极、激励电极和...
张嵘
周斌
侯波
林志辉
宋明亮
文献传递
新型中温烟气脱硫用钙基脱硫剂
本文研究了高效钙基脱硫剂的制备原理,抓住石灰通过水合反应向氢氧化钙的高效转化和提高比表面积两个关键环节,采用了一系列方法提高钙利用率,获得突破性进展.在此基础上,进一步研究了中温范围内脱硫温度对钙利用率的影响,得到700...
张奇
祁海鹰
由长福
侯波
徐旭常
关键词:
粉煤灰
比表面积
水合反应
脱硫剂
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一种类旋转变压器的倾角传感器
本发明涉及一种类旋转变压器的倾角传感器,包括敏感结构和壳体;所述敏感结构包括第一接受极板、发射极板和第二接受极板,所述第一接受极板、发射极板和第二接受极板顺序依次间隔堆叠形成类似三明治结构并放置于所述壳体内,所述第一接受...
周斌
张嵘
侯波
魏琦
郜振翼
文献传递
一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法
本发明涉及一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法,它包括解调电路和敏感结构,解调电路产生正弦激励信号作用于敏感结构,由敏感结构将电容变化信息返回至解调电路进而获得转角信息。敏感结构包括定子和转子,在定子表面设置有保护...
张嵘
周斌
侯波
宋明亮
林志辉
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